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快速热处理对PECVD氮化硅薄膜性能的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
利用PECVD在硅片上沉积了氮化硅(SiNx)薄膜,将沉积膜后的样品放在N2气氛中进行快速热处理(RTP),研究了不同快速热处理对PECVD氮化硅薄膜件能的影响.采用原子力显微镜(AFM)检测薄膜的表面形貌,利用椭圆偏振仪测量样品膜厚和折射率,利用准稳态光电导衰减法(QSSPCD)测鼋样品的少子寿命.实验结果表明随着RTP温度的升高,薄膜厚度迅速减小,折射率迅速增大;低于500℃热处理时,少子寿命基本不变;高于500℃热处理时,随着温度的升高,少子寿命急剧下降.氮化硅薄膜经热处理后反射率基本不变. 相似文献
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为了表征典型卫星表面材料的近红外偏振特性,基于微面元模型并综合考虑镜面散射及漫散射来描述目标表面的反射特性,引入镜面系数及漫反射率来明确两种反射对偏振度的影响,并考虑实际粗糙材料表面存在的遮蔽效应,建立一种更完善的多参量偏振双向反射分布函数模型,进而推导出适用于粗糙材料表面的光学反射偏振度表达式.对典型卫星表面材料进行近红外偏振实验,采用遗传算法从实验数据中反演卫星表面材料的多参量数值,进而得到偏振信息仿真曲线.结果 表明,该多参量偏振双向反射分布函数的仿真值与实验测试值能够较好的吻合,不同卫星表面材料的近红外偏振特性有较大分布差异. 相似文献
104.
本文就CATV网上综合业务的功能及技术体制进行了简述。给出了以ATM技术为主的CATV综合业务平台构成方案。并对综合业务平台的建立提出了一些建议。 相似文献
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106.
107.
应用系统动力学方法建立了基于兰切斯特平方律方程的弹药消耗SD模型,为了宏观认识炮兵弹药消耗规律,选用不同策略对模型参数进行了调整,并在Vensim平台上进行了仿真实验,得出了弹药消耗随兵力、损耗系数变化的关系和规律。实践证明,该方法研究弹药消耗规律,实用性强、可行性好,能够为指挥员科学决策提供有力的方法支撑。 相似文献
108.
109.
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介绍了DDS(直接数字频率合成)技术及PLL(锁相环)频率合成技术的工作原理及特点,给出了现代电台设计中基于DDS的频率合成器的设计方案.采用DDS输出作为参考的PLL频率合成器非常适合用做现代电台的本振. 相似文献