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171.
172.
Cl2/BCl3 ICP刻蚀蓝宝石研究靠 总被引:1,自引:0,他引:1
由于GaN单晶制备比较困难,通常氮化物光电子器件都是制备在蓝宝石衬底上的,而氮化物和蓝宝石大的晶格失配和热膨胀系数的差别,使得在衬底上生长的氮化物材料位错和缺陷密度较大,影响了器件的发光效率和寿命。PSS技术可以有效地减少外延材料的位错和缺陷,在氮化物器件制备中得到了广泛的应用。但是由于蓝宝石很高的硬度和化学稳定性,使其刻蚀难度较大。本文研究了ICP刻蚀蓝宝石中工艺参数对蓝宝石刻蚀速率的影响规律,所用气体为Cl2/BCl3,研究结果表明,蓝宝石的刻蚀速率随着ICP功率、RF功率和气体总流量的增大单调增大;随着压强的减小首先增大,继而减小。当BCl3比例为80%时,刻蚀速率最大。在BCl3流量为80sccm,Cl2流量为20sccm,ICP功率为2500W,RF功率为500W,压强为0.9Pa,温度为60℃时刻蚀速率达到最大值217nm/min。 相似文献
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从色度学原理出发,简述了两基色白光LED的配色原理,确定了可合成白光的两基色的选取范围和两基色的配比范围,计算分析了两基色白光LED的光视效能和一般显色指数。两基色白光LED具有较高的光视效能,但其显色性却较差,主波长为450 nm左右的蓝光LED与主波长572 nm左右的黄绿光混合得到的白光的光视效能值最大,约为400 lm/w,已接近等能纯白点的理论极值,但一般显色指数只有—0.5。主波长为480 nm左右的LED与主波长为580 nm左右的LED混合得到的白光的一般显色指数值最大,仅为16.2。 相似文献
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175.
GaN基发光二极管寿命测试及失效分析 总被引:2,自引:0,他引:2
将来自相同外延片和相同制作工艺的30只GaN基绿色发光二极管管芯分成3组,分别加30、40和60 mA电流进行不同时间的老化试验.在老化之前和老化期间测量了器件的光输出功率和I-V特性.将测得的光输出功率数据对时间进行指数函数拟合,得到了每一组器件的退化率及寿命,并推出器件在正常使用条件下的寿命.实验数据分析表明在电流应力作用下,GaN基绿色发光二极管的正向电压随着老化时间的增加单调上升,同时光功率下降.在60 mA下老化的管芯的串联电阻退化严重.对失效器件进行了失效机理分析. 相似文献
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云南某地高岭土尾矿的主要矿物成分为石英,含有部分长石和少量的高岭石等杂质矿物,为减少尾矿堆存、实现资源综合利用,对此部分高岭土尾矿(石英砂)进行选矿提纯试验研究。结果表明,试样经“筛分—磨矿—擦洗脱泥—磁选—浮选”的选矿工艺提纯后,获得0.5~0.1mm粒级含量>90%,SiO2含量为96.65%,Al2O3含量为1.38%,Fe2O3含量为0.052%的石英精砂,满足平板玻璃Ⅰ类二级品用硅质原料质量要求,为高岭土尾矿资源综合、高值化利用提供了工艺参考,同时为平板玻璃用硅质原料提供了新来源。 相似文献
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基于先进的临边探测方式,利用成熟的辐射传输模式MODTRAN 4,对中红外2~5 μm大气临边辐射的光谱特性和垂直分布特征进行模拟,并针对不同大气/气象条件以及太阳/探测器位置,对临边辐射垂直分布的敏感性进行了模拟和分析,给出了有意义的结果. 相似文献