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为了提高空间固体润滑滚动轴承耐磨寿命,采用全方位离子注入和磁控溅射技术对空间固体润滑轴承用9Cr18材料进行耐磨减摩表面改性研究。首先对9Cr18不锈钢试样表面注入N+、Ti+、Ti++N+,对离子注入后试样采用磁控溅射技术沉积MoS2-Ti薄膜。通过测试注入前后试样粗糙度及硬度,评价不同注入离子及无离子注入不同基底材料下溅射MoS2-Ti薄膜的附着力、真空摩擦学、薄膜磨损率等性能。结果表明离子注入通过提高9Cr18不锈钢基底硬度,能够提高复合改性后9Cr18不锈钢材料真空摩擦学性能20%。 相似文献
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报告了核工业西南物理研究院最近研制成功的改进型PSII―IM全方位离子注入工业样机。该机的真空室由不锈钢制成,其直径为1000 mm,长 1070 mm,采用多极会切磁场约束产生的等离子体。该机抽气系统由低温泵、扩散泵和机械泵组成。本底真空度小于 2×10- Pa。真空室内的气体等离子体可由热灯丝或射频放电产生, 4另外还配置了 4 个金属等离子体源、两套磁控溅射靶和冷却靶台。所以该机可以实现全方位离子注入或增强沉积薄膜。该机的负高压脉冲幅值为 10~90 kV, 重复频率为 50~500 Hz, 脉冲上升沿小于2 μs。一般情况下等离子体密度为 108~1010 cm- , 膜沉积速率为 30.1~1.0 nm/s。并给出了一些实验结果。 相似文献
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本文主要围绕利用3D电磁仿真软件CST(微波工作室)来模拟行波管的高频结构和吸收衰减.本文给出了耦合腔行波管的色散特性计算方法,还给出了前加工及优化后的行波管的色散曲线和驻波比.验算结果表明,前加工的行波管高频结构和吸收衰减存在一些问题.优化后,通频带性能变好,通带变宽,带内波动变小,驻波比变小. 相似文献
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在MAIP-1000多功能真空离子镀膜机上,采用磁控溅射方法分别在CuCrZr合金/316LN不锈钢基座包套上制备Cu过渡层,在铍块上制备Ti阻碍扩散层.通过金相显微分析、俄歇电子能谱分析(AES)、X射线衍射(XRD)分析、扫描电镜(SEM)测试分别对膜层表面粗糙度、膜层及结合界面金相组织进行分析.结果表明,利用磁控溅射方法制备的过渡层(Cu膜)和阻碍扩散层(Ti膜)空间分布均匀,表面粗糙度低、纯度高,界面结合紧密.Ti阻碍层有效阻止了Be与Cu元素;的直接扩散,为Be块与CuCrZr合金包套的热等静压扩散焊接(Hot isostatic pressing bonding, HIPB)提供了高性能的焊接过渡层. 相似文献