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11.
赵毅红  陈荣发  刘伯实 《真空》2004,41(6):8-11
通过LPCVD的方法,在Si基体表面制备了掺氧半绝缘多晶硅薄膜(SIPOS),分析了钝化机理,讨论了不同流量比与沉积速率、含氧量的关系以及SIPOS膜的含氧量对膜系结构、电阻率、折射率的性能影响,获得了最佳钝化条件,测试结果表明SIPOS薄膜晶体管击穿电压高、可靠性好、性能更稳定,可以满足现代生产的需要.  相似文献   
12.
采用PCBN刀具对高碳当量合金灰铸铁进行高速切削实验,通过IM3000光学显微镜、LSM700 3D测量激光显微镜、S-4800Ⅱ场发射扫描电镜对产生崩裂破损的刀具进行观察与分析。结果表明:高速切削后PCBN刀具表面同时存在磨粒磨损、黏结磨损和氧化磨损三种磨损形式;高速切削加工含有过多高塑、韧性游离铁素体的制动盘时,刀具前、后刀面黏结物均有增多,导致刀具表面出现严重的黏结磨损,并且伴有大面积切削刃崩刃;恶化的切削条件使得刀具表面过早出现磨损与裂纹,从而在切削时引起刀具振动,最终导致PCBN刀具崩裂破损。为了改善切削加工条件,通过改进刹车盘的铸造工艺减少铁素体数量,改进后的制动盘铸态组织以珠光体为主,有效减少了刀具的崩刃概率,提高了生产效率。  相似文献   
13.
波导薄膜厚度测量原理的理论分析   总被引:2,自引:0,他引:2  
赵毅红  陈荣发 《真空》2005,42(1):25-27
运用电磁场理论对金属波导膜厚测量的原理进行了详细分析,并且研制了一台膜厚测量仪,理论和实践表明:可以通过测量复合金属波导膜系励磁电流的脉冲波形来控制薄膜的生长厚度.  相似文献   
14.
基于Pro/E和ANSYS的提环实体建模与有限元分析   总被引:5,自引:4,他引:1  
水龙头提环实体建模与有限元分析对其结构设计和性能改进十分重要.针对水龙头提环的受力状况和变形,利用建模功能很强的Pro/E软件来建立提环的三维实体模型,然后将模型导入ANSYS软件中进行有限元分析,对提环的整体应力和不同部位的形变量进行了有效的设计与仿真研究,其结果在工程实际中得到了较好的验证.  相似文献   
15.
激光测距系统中光学屏蔽膜系的研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
针对激光测距系统中光咱成像受电磁波干扰影响测量质量的问题,本文分析了比较了金属光学薄膜与ITO薄膜的光学屏蔽特性。采用磁控反应溅射的方法在关键光学零件表面制备了ITO膜,经过性能测试表明:ITO膜可以满足现代激光测距的光路屏蔽要求。  相似文献   
16.
电子束蒸发与磁控溅射镀铝的性能分析研究   总被引:7,自引:0,他引:7  
陈荣发 《真空》2003,(2):11-15
通过对半导体器件电极制备的两种方法即电子束蒸发与磁控溅射镀铝的比较,详细分析了两种方法的膜厚控制、附着力,致密性、电导率和折射率等重要性能指标,测试结果分析表明磁控溅射铝膜的综合性能优于电子束蒸发。  相似文献   
17.
研究了纯镍及其表面磁控溅射Ni 0 5Y微晶涂层在 10 0 0℃空气中的恒温氧化和循环氧化行为。通过扫描电镜(SEM)和透射电镜 (TEM)对涂层以及表面NiO膜的形貌和结构进行了研究。此外 ,还用激光拉曼 (Raman)谱对两种样品表面NiO膜内应力大小进行了测量。结果表明 ,Ni 0 5Y微晶涂层与基体镍相比有更低的氧化增重速率 ,表面NiO氧化膜的晶粒尺寸明显减小 ,膜的高温塑性得以改善。同时 ,氧化膜内的压应力水平也有所降低 ,因而改善了NiO膜的粘附性和保护性。磁控溅射涂层的微晶结构以及稀土元素Y的存在均有助于提高涂层的抗高温氧化性能  相似文献   
18.
本文介绍了租用已建成的通信光缆网,利用通信网暂不使用的光电接口,传输有线电视节目的具体实施方案,并对组网中碰到的问题提出了很好的建议。  相似文献   
19.
介绍了螺杆元件金属粉末注射成型工艺特点,用Pro/MOLDESIGN模块设计螺杆元件金属粉末注射模,通过模具开模时的干涉分析,确定采用三分瓣滑块结构,滑块利用圆锥面和T型槽导滑。模具制造方便、分型可靠、复位精度高,注射成型的螺杆元件达到设计要求。  相似文献   
20.
我国即将在南极建立的科学考察基地“长城站”的水源,将根据站址环境在三套方案中选取,即化冰雪取水、海水淡化和取自然淡水。国家海洋局杭州水处理技术开发中心提供的一台DHD-02型电渗析海水淡化装置,目前经过运转试验,性能良好,将随考察队同往南极。南极虽然有冰雪可作淡水水源,然而融  相似文献   
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