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微声学(Micro-Acoustics) 是研究特征尺度在微米至纳米之间声学现象的一个学科分支,微声学的研究范围包括声表面波(SAW) 技术和体声波(BAW) 技术等.上世纪90 年代以来,为了满足移动通信对低损耗、高矩形度、高频、宽带和小型化/微型化滤波器等信号处理器件的迫切需求,微声器件技术获得了迅猛发展. 相似文献
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