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采用多靶磁控溅射系统,使用AlCrTiZrNb合金靶和Si靶制备了不同Si_3N_4厚度的(AlCrTiZrNb)N/Si_3N_4纳米多层膜,样品基底为单晶硅。通过X射线衍射仪(XRD)、高透射电子显微镜(HRTEM)、扫描电子显微镜(SEM)和纳米压痕仪对样品进行微观组织的表征和力学性能的测量。实验结果表明,随着Si_3N_4层厚度的增加,样品的结晶度和力学性能均先增加后减小,XRD图谱中出现面心立方相结构。在Si_3N_4层厚度为0.5 nm时,(111)衍射峰强度达到最大值。说明薄膜结晶度最强,薄膜的硬度和弹性模量也达到最高值,分别为30.6,298 GPa。通过对样品的横截面的形貌观察,发现当Si_3N_4层厚度为0.5 nm时,多层膜的多层结构生长良好。在(AlCrTiZrNb)N层的模板作用下,Si_3N_4层从非晶态转变为面心立方结构,与(AlCrTiZrNb)N层之间形成共格外延生长结构,(AlCrTiZrNb)N/Si_3N_4纳米多层膜的强化可归因于两调制层之间形成的共格界面。 相似文献
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去年本刊第6期曾刊登记者专访文章——《扫描希望之光》,就国产扫描仪发展前景访清华紫光集团总裁张本正。 就像关注计算机市场上的国有品牌命运一样,我们也非常关心计算机外设市场上的国有品牌兴衰。 时隔一年,历史又向前迈进了一步。进入1997年,国产扫描仪发展得怎么样了?紫光凭借自己的胆识、实力,树立起的国产扫描仪自有品牌是怎样面对市场上国外同类产品挑战的?带着这些问题,记者日前来到清华紫光集团再访总裁张本正先生。 相似文献
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今年11月17日至21日,在美国拉斯维加斯(Las Vegas)举办的Comdex计算机展览会是历史上规模最大的一次,来自世界各地的参展厂家达2100家,尤其引人注目的是,全球有3500家新闻传媒机构与会,真可谓盛况空前! 实地参观人数超过22万人次,笔者有幸作为其中一员亲临现场,直接感受其间令人兴奋的、全球范围的数字化魅力。 相似文献
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一、前言日本的粘接剂工业,近二十年来有了较大的发展。这是由于化学技术,特别是高分子化学的突飞猛进。且加之“学术和工业”这两个领域的密切配合……即“产学协同”起了重大的作用。该发展过程可分为两个时期:趁着高度经济发展的势头,粘接剂的产量高速度增长的前半期(1964~1973年),和经济发展的速度转为下降的形势下,应合时代的要求, 相似文献