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FU JianYu CHEN DaPeng & YE TianChun Integrated Circuit Advanced Process Center 《中国科学:信息科学(英文版)》2010,(5)
Nanolithography is a patterning technique for the fabrication of nano-scale structures.A promising method of nanolithography known as scanning probe lithography has particularly extensive applications for its high resolution,high reliability,and simple operation.In this paper,a novel electrothermally actuated cantilever with integrated heater,thermal conductor and actuator for scanning probe lithography is proposed.Cantilevers are designed in an 8×4 array.Analytical models are presented to simulate the temp... 相似文献
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通过研究剪切模具对棒料剪切质量的影响因素,设计了一种适用于普通冲床的棒料精密剪切模具,该模具通过弹簧提供径向夹紧力,且径向夹紧机构与剪切刀具设在同一模具上.模具能够提高棒料剪切断面质量及下料效率,节约了生产成本. 相似文献
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破碎、粉磨行业生产设备中的耐磨材料通常都选用高锰钢,因要求有较高的硬度而使得其韧性不会太好,耐磨性一般,由于使用量较大,经济效益不理想。以高锰合金焊芯在Q345底板上堆焊耐磨层,处理后得到高硬度的马氏体组织,在相同的工况条件下,耐蚀、耐磨性大大提高,从而提高了零件的适用范围和使用寿命,降低了成本,提高了经济效益。 相似文献
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