用于VLSI的注入氮化物特性

本文描述了在VLSI研制中通过氮注入形成氮化硅层。在形成各种氮化物层的过程中,注入分子氮能量范围为5到60keV,随后在1000℃的氮中退火。描述在炉中退火前后所形成的氮化物层特性,在不同的IR、SIMS和椭圆对称测量情况中找出局部氧化掩模的有效注入条件。相对于整个注入能量范围,注入氮的最初IR峰值为815cm~(-1)。对于退火后的高能量注入来说该位置会漂移到一个较高的波长数,低能量注入峰值接近于830cm~(-1),上述均与LPCVD为氧化物峰值相比而言。此研究结果认为,低能氧化物的化学成分几乎是可用定量计算的。退火过程中浓度分布向着表面漂移,并将增高峰值区氧的浓度。从氮化物分布剖面看最大值是在表面,而在<10keV时消失。在1000℃的蒸汽中生长5300(?)氧化层进行测试这些氮化物掩模特性。剂量为5×10~(16)N_2~+/cm~(-2)离子的氮化物在注入能量低于40keV会形成有效的氧化掩模。在此实验条件下,在10keV下所形成的氮化层可认为是一个有效的氧化掩模,足以适应选择性地腐蚀SiO_2,减小“鸟嘴”尺寸为常规LOCOS的四分之一。     

不同保护渣在连铸大小方坯上的应用

不同保护渣在连铸大小方坯上的应用［德］ＨｏｒｓｔＡｂｒａｔｉｓ等１前言在连铸结晶器内使用的保护渣应满足多方面的要求，也就是借助形成液渣来润滑铸坯使其滑动地通过结晶器，恰如其分地控制和均匀结晶器内的传热，吸收来自钢液中产生的非金属夹杂以及避免钢液面较大...     

用单透镜变换由多模光纤出射的大功率Nd：YAG激光束的特性

根据理论假设，通过选取单透镜的参数和位置，计算说明了单透镜使经由多模光纤出射的大功率Ｎｄ：ＹＡＧ激光束的发射角压缩，光束聚焦效率提高，光束截面场为高斯分布；文中的计算结果符合已知规律，从而说明了理论假设的正确性。     

JETS,PLUMES AND BUOYANT JETS IN STATIC ENVIRONMENT

Turbulence represents an essential aspect in atmospheric and oceanic circulations.In particu-lar,it is a preponderant factor in the dispersion of pollutants of artificial or natural origin.Thevertical turbulent jets,plumes and buoyant jets discharging into static environment is one of themost important and basic flow patterns related with the environment pollution.These flows havenumerous important applications,for example,thrust augmentors,waste disposal plumes fromstacks and combustion systems,and significant problems of turbulent diffusion.     

纤维素酯片基照相胶片的稳定性 第三部分:胶片降解的测量

纤维素酯安全片基照相胶片降解的征兆是有醋酸或其他有机酸释放出来。降解还伴随着pH值、片基的拉伸性能以及乳剂湿强度的降低。对酸的增多,可在38°的水中漂洗出酸,然后再用氢氧化钠滴定的的方法测量。已经研究出了一种用于硝酸纤维素胶片的同样方法。水漂滴定法比pH值测量或物理性能测量的方法更灵敏,其缺点是需要具有实验技能以及破坏胶片。已经研究出了一种使用酸碱试纸的非破坏性的现场试验方法。     

印染助剂实用指南（二十二）

印染助剂实用指南（二十二）吴庆源（上海长申助剂厂上海２０００９０）９６防泳移剂ＭＳ９６．１结构或组份由聚丙烯酰胺经碱水解后再进行羟甲基化而得。９６．２规格及标准棕色透明粘稠体，ｐＨ７～７．５，相对密度１．１～１．２，粘度２０００～２５００Ｐａ·ｓ。９...     

HYDRODYNAMIC FORCE ON SMOOTH HORIZONTAL CYLINDER IN UNIFORM OSCILLATORY FLOW

ＨＹＤＲＯＤＹＮＡＭＩＣ　ＦＯＲＣＥ　ＯＮ　ＳＭＯＯＴＨ　ＨＯＲＩＺＯＮＴＡＬ　ＣＹＬＩＮＤＥＲ　ＩＮ　ＵＮＩＦＯＲＭ　ＯＳＣＩＬＬＡＴＯＲＹ　ＦＬＯＷＨＹＤＲＯＤＹＮＡＭＩＣＦＯＲＣＥＯＮＳＭＯＯＴＨＨＯＲＩＺＯＮＴＡＬＣＹＬＩＮＤＥＲＩＮＵＮＩＦ...