Cl2/Ar/BCl3ICP刻蚀AlGaN的研究

感应耦合等离子体（ICP）刻蚀在AlGaN基紫外探测器台面制作中起着重要作用。在对比了ICP与RIE，ECR等干法刻蚀技术优缺点的基础上，采用Ni作为掩膜，Cl2/Ar/BCl3作为刻蚀气体，对金属有机化学气相淀积生长的n-Al0.45Ga0.55N进行了ICP刻蚀研究。刻蚀速率随着ICP直流偏压的增加而增加，刻蚀速率随着ICP功率的增加先增加较快后增加缓慢。最后结合刻蚀表面的扫描电镜（SEM）分析和俄歇电子能谱（AES）深度分析对刻蚀结果进行了讨论。分析表明，在满足刻蚀表面形貌的同时，较低的直流偏压下刻蚀速率较慢，但损伤较小，这对于制备高性能的紫外探测器是有利的。     

高精度透射式光电定心仪的研究

针对目前定心仪产品精度不高、结构复杂且形式单一的现状,在对传统透镜表面反射像定心法、球心自准像定心法和光学电视定心法的不足进行分析的基础上,提出了一种高精度透射式光电定心仪研究方法。系统采用激光为光源,设计了扩束准直系统,使入射到待测透镜上的为发散角极小的平行光;利用位置敏感探测器PSD测量经过待测透镜会聚的光斑重心坐标,来判断是否实现精确定心。该定心仪结构简单、测量方便,可在测量范围+∞≥R≥-∞内,达到1 μm的定心精度,在透镜加工领域具有很广阔的发展前景。     

球壳热设备内部积垢的红外诊断

输热设备运行一段时间后,内壁面会积起一层污垢,本文利用红外测温技术获得球壳形热设备外表面的温度分布,首次计算出热设备和内壁污垢两层介质中的温度场,进而得出污垢层的厚度分布,从而实现此类热设备运行状态的实时监测.     

GJY Ⅱ型灌浆自动记录仪简介

 介绍了在国际招标中标的GJY Ⅱ型灌浆自动记录仪的结构、性能、工作原理及数据处理软件。     

粒状贝氏体组织的疲劳性能

本文研究了粒状贝氏体组织的低周疲劳性能、冲击疲劳性能及旋转弯曲疲劳性能.结果表明:在等抗拉强度下,粒状贝氏体的低周疲劳性能与冲击疲劳性能均优于回火马氏体组织.且随粒状贝氏体含量增加,冲击疲劳寿命相应提高.粒状贝氏体中的(M-A)岛对疲劳裂纹扩展有阻碍作用,对提高疲劳寿命有利.在等强度下,粒状贝氏体的旋转弯曲疲劳性能和回火马氏体组织相当,疲劳极限(Sf)与屈服强度(σy)和断裂强度(S_K)的关系为: S_f=4.651+0.1411(σ_y+S_K)     

下贝氏体碳化物源的高温电镜观察

在JEM-1000超高压透射电镜高温台中对40CrMnSiMoV钢310℃等温所得下贝氏体进行定点动态观察的结果表明,原先无碳化物的贝氏体铁素体内,在高于等温转变温度经一定时间回火后,析出了典型下贝氏体碳化物。这说明下贝氏体铁素体是过饱和碳的。奥氏体中也可析出碳化物,但不具备下贝氏体碳化物的典型特征。     

我国固定网本地环路分拆问题的探讨

我国电信业新的竞争格局和宽带接入需求的增长推动了固定本地网领域的竞争。本地环路分拆有助于促进竞争同时减少重复建设。本文介绍了本地环路分拆的概念，对我国实施本地环路分拆的必要性进行了论述，并借鉴其他国家的实施经验，对我国实施本地环路分拆的监管政策提出了建议。     

电磁频谱作战策略体系构建与表征问题研究

智能化电磁频谱作战,需要基于预置策略,进行电磁频谱作战筹划与行动控制,以获取电磁频谱作战决策优势和行动优势。文中设计了立体分布式侦察策略、集群攻击策略、差异化分层防御策略、基于规则的动态频谱共享策略、基于效果的作战资源调度策略。由电磁频谱作战机理、作战冲突消解对策、作战规则、作战政策法规与原则等构成电磁频谱作战策略体系结构,构建了电磁频谱管理策略库作为样例。设计了动态可变、代码耦合程度低的电磁频谱作战策略本体模型,并采用八元组描述每一策略。设计的基于联机处理的策略库体系架构包括数据监控层、元数据层、自主数据层、应用区、数据存储区等。     

云计算中的轻量级查询结果验证机制

存储在云计算服务器上的数据可能被篡改或删除,查询完整性验证的作用是确保查询用户能够验证查询结果中的数据是真实的,且包含所有满足条件的数据。提出了一种基于签名链结构的查询完整性验证机制。方案使用代数签名机制替代数字签名实现校验值的计算,从而有效降低计算和查询验证开销。此外,通过维护一种新的、简单的索引结构实现了仅需下载少量数据即可实现校验值的更新。实验结果表明,所提方案比基于数字签名的签名链方案具有更小的更新开销和更高的验证效率。     

改进权值计算的EPF算法及在目标跟踪中的应用

扩展卡尔曼粒子滤波(EPF)在预测阶段通过EKF选取重要性函数而优化了粒子选取,但是传统EPF算法中粒子权值一般是通过正态分布的概率密度函数计算的.此方法没有突出不同噪声粒子的权值差别,在计算中引入了较大的相对误差.通过在更新阶段对权值计算所依赖的概率密度函数做出改进,得到改进的EPF算法.同时采用实际目标跟踪数据进行...