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对屏蔽电泵在非设计流量下工作存在较大的轴向力不平衡,造成前端轴承磨损严重进行了分析。在不降低效率的情况下,在屏蔽电泵的泵头加入平衡盘使轴向力得到平衡,并取得了满意的效果。 相似文献
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半导体晶圆制造车间层控制的内容及方法 总被引:2,自引:0,他引:2
半导体晶圆制造企业是资本密集、技术密集型产业,晶圆制造厂也是公认生产最为复杂的工厂之一。产品更新换代快、市场竞争激烈等特点使得投资者对设备产能和设备利用率高度重视。这已不仅仅是技术问题,而是生产制造过程管理的问题。本文介绍了半导体晶圆制造车间层控制的内容及方法。 相似文献
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LS SIMD微处理器中的三组指令并发执行的设计 总被引:2,自引:1,他引:1
文章介绍了LS SIMD微处理器中实现三组指令并发执行的可能性和必要性,分析了三组指令并发执行给流水线带来的影响,并讨论了控制逻辑对三级指令并发执行的控制及其实现形式。 相似文献
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