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61.
金刚石化学机械抛光垫修整器的发展方向与前景(上) 总被引:1,自引:0,他引:1
半导体芯片的生产主要依靠化学机械抛光(CMP)工序使硅片表面平坦化,使复杂的集成电路能非常有效地工作。做为电路设计不可避免地趋向于采用高度集成和多层结构。故化学机械抛光技术必须紧跟其需要与发展。化学机械抛光垫性能的关键是采用金刚石化学机械抛光垫修整器工作时,抛光垫工作寿命期间,必须保持恒定的抛光效果。 相似文献
62.
T. Yang B.H. LiDepartment of Materials Physics University of Science Technology Beijing Beijing ChinaK. Kang T. SuzukiInformation Storage Materials Laboratory Toyota Technological Institute Nagoya - Japan 《金属学报(英文版)》2003,16(4):261-265
(FePt/Ag)n nano-multilayers were deposited on MgO (100) single crystal with laser ablation and then subjected to annealing. FePt L1o grains with (001) texture and thus a large perpendicular magnetic anisotropy constant Ku of the order of 106 J/m3 were formed. A thick Ag layer is found to be favorable for decreasing the dispersion of the easy axis for magnetization. The measurement of time decay of magnetization gave rise to a small activation volume of the order of 10-25m3, showing the promising of being the recording medium for future high density perpendicular recording. 相似文献
63.
通过在1升的带搅拌的高压釜中使煤的重量浓度从0依次增加到2~(7%)的一系列实验,研究了Vesta次烟煤对Athabasca抽提后沥青(切除了低于350℃馏份)共处理的效果。将Vesta煤与沥青(3.94‰)之间存在的~(13)C/~(12)C比例的差别用作天然同位素示踪,以监测煤和沥青进入每一种合成液体馏份中的比率。通过比较同位素测得的产品中来自煤的比率表明:煤进入到馏出物、甲苯可溶物、甲苯不溶物的比例随掺入的煤量的增加而逐渐增加。煤的重量百分比从15%增加到2~(6%),结果甲苯不溶物增加了三倍。相应地,沥青进入到合成液体中的碳的比例也随煤的浓度而变化。比较沥青加氢处理与共处理中同位素测得的产品量表明:煤的浓度从4%增加到8%,馏出物的量增加14—17%,而甲苯可溶物相应地减少32—49%。煤的浓度为15—26%时,共处理中单独由沥青提供的馏出物无明显增加,而沥青提供的甲苯不溶物的碳的比例从0.9%增加到5.0%。这些结果表明:由5—10%的煤组成的煤-沥青混合物共处理,能够促进沥青馏出物的生成。 相似文献
64.
前言在橡胶与黄铜的粘合中,氧化锌起着重要的作用。据Barnhart和Mckinstry报告,掺用10重量份氧化锌的胶料,特别是经停放后,可望获得最佳的粘合效果。这个用量要比它通常用作硫化活性剂的用量,即3~5重量份高得多。 相似文献
65.
Fluor公司开发的Fluor SO_2净化工艺具有广泛多样的工艺布局,可以通过经济的方式定制脱除烟气中的有害组成。该工艺几乎能去除全部SO_2并减少CO排放。Fluor SO_x净化工艺的主要步骤已在多套工业装置中得到成功的证实。除技术可行、经济合理之外,Fluor SO_x净化工艺不会产生任何有害副产物,也不会遇到与SO_3 有关的腐蚀问题。此外,该工艺生产高纯度可市售的元素硫。论述了Fluor SO_x净化工艺的特征、技术和成本优势、设计和操作的简易性以及实施的便利性。 相似文献
66.
V.L.Siele M.Warman J.Leccacorvi R.W.Hutchinson R.Motto E.E.Gilbeit T.M.Benzinger M.D.Coburn R.K.Rohwer R.K.Davey 孙姣花 陈正衡 《火炸药》1982,(5)
本文叙述三种由乌洛托品制备奥托金(HMX)的新方法,每种方法都是先进行乙酰化然后再硝化,其中以DADN为中间产物的方法的HMX得率,比目前以乌洛托品和醋酐为基础的Bachmann法要高,但要采用后者不必采用的硫酸和聚磷酸。已经表明,DADN可在中间规模以良好的得率快速连续地生产,废酸回收也没有什么问题。 相似文献
67.
壁面处湍流速度梯度脉动的测量对于深入了解壁面附近湍流的结构和传热、传质是很重要的.本文叙述了电化学法测量的原理,介绍了用一半圆电极对同时测量壁面上二维湍流速度梯度脉动的方法和测量结果.在直径0.194m的充分发展圆管湍流中,用碘和碘化钾溶液作为流动介质,半圆电极对直径为5×10~-4m,测得壁面处轴向和周向速度梯度的湍流脉动强度分别为0.3—0.33和0.11—0.12. 相似文献
68.
69.
<正> 最近,笔者研制了一种结构新颖的热交换器。这种热交换器可在很大程度上克服常规热交换设备所存在的两个不足之处,即换热表面的污染和密封垫圈的泄漏。新的换热器采用了新的结构和新的流体运动模式,相比现有的其他各种换热设备,它能向使用单位提供更多的便利。 在常规换热器使用过程中,被加热或冷 相似文献
70.
Michel C Bol A Spinks T Townsend D Bailey D Grootoonk S Jones T 《IEEE transactions on medical imaging》1991,10(3):240-248
The authors have assessed the response function both experimentally and theoretically for two commercial tomographs: CTI 931/08-12 and CTI 953B with and without interplane septa. Monte Carlo simulations were undertaken using the GEANT package from CERN. Spatial resolution (tomographic and axial) was calculated for line sources at various positions in the field of view. Sensitivity and scatter fraction (SF) were calculated for various source geometries as a function of energy discrimination. A very realistic response function in positron emission tomography (PET) is obtained by Monte Carlo methods, using global parameters to account for unsimulated phenomena such as scintillation light transport inside a detector block and its sharing among the various phototubes. Minor discrepancies remain for sensitivity and SF at high energy thresholds and may probably be explained by introducing the observed dispersion in the energy response for the various crystals within a detector block. 相似文献