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新型高k栅介质材料研究进展 总被引:5,自引:0,他引:5
随着半导体技术的不断发展,MOSFET(metal-oxide-semiconductor field effect transistor)的特征尺寸不断缩小,栅介质等效氧化物厚度已小至nm数量级。这时电子的直接隧穿效应将非常显著,将严重影响器件的稳定性和可靠性。因此需要寻找新型高k介质材料,能够在保持和增大栅极电容的同时,使介质层仍保持足够的物理厚度来限制隧穿效应的影响。本文综述了研究高k栅介质材料的意义;MOS栅介质的要求;主要新型高k栅介质材料的最新研究动态;展望了高k介质材料今后发展的主要趋势和需要解决的问题。 相似文献
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小型雷管生产工艺方法与质量保证措施 总被引:1,自引:1,他引:0
小型雷管的结构特点是体积小,装药量少.要保证小型雷管在传爆序列中可靠作用.除设计时已确定的结构形式、装压药条件、管壳材料等关键技术外,生产过程中工艺方法不同对产品质量具有不同的影响.本文从装药、压药、退模三道工序选用不同的工艺方法和设备对小型雷管装配生产质量的影响进行了对比分析,从而找出了最佳的生产工艺方法.并提出了相应的质量保证措施。 相似文献
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我公司于2005年7月投产后,部分计量设备由于设计不完善,安装不合理,导致计量不稳定.在此,通过总结,给出解决措施、技改方案及建议. 相似文献
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20.
Ti-45Al-10Nb合金的高温氧化行为 总被引:4,自引:0,他引:4
研究了Ti—45A1—10Nb(原子分数,%)合金在800-960℃在氧气和空气中的氧化行为.结果表明,该合金具有较好的高温抗氧化性能,其氧化增重速率与铁基耐热不锈钢相似或略优.与Ti—50A1合金相反,Ti-45A1-10Nb合金在空气中的氧化增重速率明显低于在纯氧中的氧化增重速率.X射线衍射与能谱分析表明,Ti-45Al一10Nb合金在氧气中的氧化产物主要有TiO2和Al2O3,但在空气中的氧化产物中有TiN相.这是降低氧化速率的主要原因,同时,合金元素Nb稳定了氧化层中的TiN相,因而提高了合金在空气中的抗氧化性能. 相似文献