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中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀 总被引:2,自引:2,他引:0
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。 相似文献
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对省煤器开裂管进行了化学成分及宏、微观分析。分析结果表明,在高温高压条件下,在其焊缝溶合区出现粗大的魏氏组织,管材中的珠光体组织产生了不同程度的球化,而母材组织又存在严重的带状组织。在过热条件下熔合区极易出现裂纹,并由此快速扩展,造成省煤器管开裂。 相似文献
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本分析了山西分公司二期CO2压缩机润滑油消耗高的原因,介绍了采取的针对措施以及2002年取得的节能效果,并进一步指出了CO2压缩机的节能空间。 相似文献
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