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采用金刚石薄膜作为阴-阳极间绝缘介质层是一种新型的微间隙室(MGC)结构。该文详细介绍和讨论了采用常规的微细加工工艺制备基于金刚石薄膜介质层的MGC的制备技术,其典型结构为阳极微条宽20μm,微条间隔180μm,器件探测区面积为38 mm×34 mm。采用热丝CVD法制备的金刚石薄膜作为阴-阳极间绝缘介质层,厚7~8μm,具有(100)晶面结构。金刚石的刻蚀采用反应离子刻蚀,Cr作掩膜,O2和SF6为刻蚀气体,刻蚀速率为79 nm/min,与Cr的刻蚀比约为20:1。实验结果表明,采用的微加工结合自套准工艺可很好地解决金刚石薄膜的制备、图形化及金属阳极电极与金刚石薄膜的相互套准等金刚石薄膜的可加工性及兼容性问题,并制备出采用金刚石薄膜作为电极间绝缘介质层的新型MGC结构。 相似文献
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分析了“鲁班奖”工程通过率低的原因,详细地探讨了申报“鲁班奖”工程主要应该重视的几个方面,以促进施工企业的创杯工作,从而起到提高工程质量管理水平,提高企业知名度的作用。 相似文献
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有机硅丙烯酸酯增深剂的制备及应用 总被引:3,自引:0,他引:3
由乙烯基三乙氧基硅烷与KH-550、丙烯酸酯类单体在阴/非离子表面活性剂存在下,通过乳液聚合制得带蓝光的半透明有机硅丙烯酸酯乳液.该乳液粘度小,有机硅质量分数15%,总固体质量分数30%,该增深剂既可单独使用,也可与氨基硅油乳液复配,经蓝色16电力纺、黑色03双绉等真丝产品增深,其增深度可达15%,但亲水性有所下降. 相似文献
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浅析如何对科研人员进行有效的激励 总被引:2,自引:0,他引:2
立足于从研究科研管理人员在科研管理工作的功能和角色,分析科研管理过程中常见的一些问题,利用现代管理理论,从激励方面寻找适宜的解决办法,同时结合作者多年的科研管理经验,提出了在科研院所中有效的激励机制和原则。 相似文献
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秀卢瑟福背散射-沟道技术(RBS-C)和X射线衍射技术(XRD)研究了Pt和注入YSZ(Y2O3稳定的ZrO2)后产生的损伤和退火过程中损伤的恢复及注入Pt的晶化,RBS-C分析表明YSZ室温下的存在较强自退火效应,XRD分析结果示出硫以铂的晶化产生很大影响。 相似文献