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991.
针对MEMS器件背面引线的需求,提出了一种基于玻璃通孔(TGV)加工方法的10.16 cm(4 inch)圆片衬底的制备工艺流程.首先深硅刻蚀导电硅片,然后将硅片和玻璃片阳极键合,随后将键合后的玻璃-硅圆片经高温加热,使玻璃填充至硅片中,再依次研磨抛光玻璃-硅圆片的正面玻璃和背面硅,直至硅与嵌入玻璃在同一平面,最后得到了厚度为258μm的4 inch圆片衬底,其轮廓算术平均偏差、轮廓最大高度、微观不平度十点高度的平均值分别为13,71和49 nm.此外,测得圆片中硅导通柱电阻率为0.023Ω·cm. 相似文献
992.
种类繁多的传统网络安全技术已无法满足网络安全的新需求,在此形势下,新的网络安全技术应运而生,主要是入侵检测技术和网络隔离技术.尤其是网络隔离GAP技术,已逐渐成为网络安全研究最活跃的领域,文中详尽分析了TCP/IP协议及分解,提出了流量控制模型,设计了专用协议,并利用Linux系统平台上的CAPI library实现了专用协议,不但提高了数据交换速度,而且改善了系统的安全性能,对GAP技术研究具有一定的参考与实用价值. 相似文献
993.
994.
995.
996.
997.
多小波自适应分块阈值降噪及其在轧机齿轮故障诊断中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
为有效提取关键设备淹没在强背景噪声中的微弱故障特征,提出了一种多小波自适应分块阈值降噪方法,并将其成功应用于轧机齿轮箱故障诊断中。小波降噪的效果主要取决于小波函数和阈值的合理选择。多小波具有多个尺度函数和小波函数,可以同时满足紧支性、对称性、正交性以及高阶消失矩等优良性质,使其在早期故障和微弱故障诊断中颇具优势。针对多小波变换系数之间的相关性,在估计真实特征值时以Stein无偏风险估计最小作为约束条件,自适应地选取最优的邻域分块长度和阈值,能够在准确提取故障特征的同时有效消除噪声干扰。仿真信号验证了方法的有效性,轧机齿轮箱的诊断结果表明,该方法可以有效提取出齿轮箱高速小齿轮存在由于高温熔焊导致的两处局部胶合破坏故障。 相似文献
998.
针对特大型危岩体爆破开挖治理过程中的爆破振动影响,建立符合危岩体特征的FLAC3D数值计算模型。将危岩体进行条块划分,计算并输入不同段药量时的爆破荷载,计算得到各条块质点加速度,并采用基于刚体极限平衡的等效加速度法进行危岩体爆破动力稳定性分析,得出了危岩体安全系数与单段药量之间的关系,结合相关规范给出了合适的安全系数所对应的单段最大药量。经现场爆破试验验证,可获得较好的爆破效果。通过分析危岩体爆破振速与爆心距的关系,提出了在控制药量条件下,采用特定爆心距处测点振速可作为现场监测控制标准。 相似文献
999.
通过对经超临界二氧化碳(Super Critical Carbon Doxide,SCCO2)处理的铀样品在60℃和70%相对湿度大气环境中腐蚀增重速度进行测量,研究了SCCO2处理对铀样品抗大气腐蚀性能的影响,借助俄歇电子能谱和X射线衍射等表面分析方法,对经过SCCO2处理的铀样品在表面的结构和化学成分进行了分析。实验有明,在10MPa、60℃的SCCO2中浸泡处理3.0h和4.5h后,铀样品的抗大气腐蚀速度都较未经过SCCO2处理的样品有明显的减慢。SCCO2压力参数影响的实验结果显示:同样条例上(60℃,3h),10MPa SCCO2处理的样品的抗大气腐蚀性能比8MPa压力处理的要好;相同压力及时间条件下(10MPa,3h),60℃处理的样品的抗腐蚀性能优于50℃处理的。在所有实验中,10MPa,60℃的SCCO2处理3h后再于2MPa的CO2中浸泡108h,样品的抗腐蚀性能最好。AES分析结果显示,经SCCO2处理后,铀表层C、O含量比未处理品高,表明处理过程中有C和O的引入;XRD分析发现,铀表面与SCCO2之间的化学反应在表层主要的产物是UO2。对超临界二氧化碳处理提高铀抗腐蚀能力的机理也进行了初步的探讨。 相似文献
1000.