用于100nm节点ArF准分子激光光刻的相移掩模技术

用于100nm节点ArF准分子激光光刻的相移掩模(PSM)技术主要有无铬相移掩模(CPM),交替相移掩模(APSM)、衰减相移掩模(AttPSM)和混合相移掩模技术。对这些掩模的基本原理、制作方法及性能比较进行了分析研究。研究表明,无铬相位光刻(CPL)PSM和高透AttPSM 相结合构成的混合掩模最适合用于193nmArF光刻,以产生100nm节点抗蚀剂图形。     

谈专用测试设备校准规范编写

校准规范是实施校准的基础。编写专用测试设备校准规范是一项非常重要的工作，它是计量保证的基本要求。本文论述了编写组的组成、编写工作程序、校准项目及校准方法、测量标准设备的选择以及校准时间间隔。     

闸板裂纹分析

采用化学分析、硬度测试、金相检验等方法对闸板裂纹进行了分析.结果表明闸板产生裂纹的主要原因是由于闸板背部的盲孔处进行过补焊,并且在补焊区存在一些空洞、微裂纹、未焊透等缺陷,零件在外力作用下,首先在焊缝区粗大的马氏体+下贝氏体区域的内部缺陷处形成裂纹源,然后沿焊缝二相区组织界面迅速扩展形成裂纹.     

机电系统交流采样的误差分析

机电系统在对周期电气信号的采样测量中 ,电网频率的变化、信号周期的不同步均会导致测量误差 ,典型算法梯形法中也存在截断误差。作者对目前电量采样中常出现的采样误差进行了分析 ,其结果对机电测量系统的软、硬件设计具有指导参考价值     

Study on Improving Solidification Structure of Rare Earth Al-Si Alloys with Electropulse Acting on Liquid Alloy

Electropulse modification (EPM) process, a new physical field method for improving the solidification structure of metals was introduced.Different from other research, EPM is only acting pulse current on melt under liquid state.The solidification structure of Al-Si alloys, A1-Cu alloys,cast iron and steel can be modified obviously with this method: the solidification structure of ZL101 alloy presented the Na and Sr modification and the mechanical properties were enhanced; a large number of primary silicon appeared in the microstructure of ZL109 alloy; the equiaxed grain zone was expanded and the grains were fined in Al-5.0wt% Cu alloy; the graphitization took place in solidification process of molten cast iron; the grain sizes of solidification structure of T8 steel were reduced significantly and the shape of steel pearlites also changed; the equiaxed grain zone increased to 88% from original untreated 19%, the equiaxed grains were fined and the intercrystalline crack was avoided in concasting billet by continuously treating liquid electrical sheet steel in tundish.Effects of rare earths on casting Al-Si alloys were also summarized.The method of modifying the solidification structure of rare earth Al-Si alloys with EPM in producing the alloys was proposed.     

基于概率统计的页岩气探明可采储量评估方法探讨——以川渝地区某页岩气开发区块为例

由于页岩气开发自身的特点以及从投产井获得的资料十分有限,技术和经济关键参数存在较大的不确定性,因此在评估页岩气开发项目可采储量时,可采储量的大小及其经济性也存在较高的不确定性和风险。为了定量描述和分析页岩气可采储量的风险,该文从概率统计的角度出发,建立基于改进ARPS双曲递减产量预测模块和国内财税机制现金流评价模块的一体化评估模型。通过对页岩气开发初期区块的实例评估可知,采用概率分布来定义技术和经济关键参数的范围以及描述页岩气可采储量评估结果的范围,相对于确定性法,能获得更多的信息：1)一体化评估模型在模拟后获得不同概率下的技术可采储量及其对应的产量预测剖面,可以定量描述技术可采储量结果存在的风险;2)经济评价模拟不仅给出满足规范要求的经济可采储量结果,而且定量说明项目经济性存在的风险;3)页岩气可采储量不确定性法评估是一项持续的技术工作,需要根据开发井数的不断增加、单井生产动态变化以及项目实际经济条件变化适时更新,以反映页岩气项目的实际开发状况。     

多向锻造对M50钢一次碳化物破碎机制的影响

在1 000 ℃和1 100 ℃对M50钢进行了累积应变分别为1.2和5.4的多向锻造(MDF)试验,分析了温度和累积应变量对M50钢碳化物破碎的影响。结果表明,原始M50钢中粗大的棒状一次M₂C型碳化物经多向锻造后破碎明显,颗粒状M₂₃C₆型碳化物在1 100 ℃下明显溶解,低温多向锻造使碳化物呈现更细小的尺寸和更分散的形态。锻件不同位置由于变形程度的不同,碳化物的破碎程度也不同,变形量大的位置碳化物破碎更明显。低温和高应变量强化了应力集中水平,使一次碳化物的破碎程度增加。应力集中是碳化物破碎和分散的主导驱动力。     

利用DDE技术实现组态软件与应用程序的数据通信

本文介绍了Windows环境下DDE(动态数据交换)技术原理,以及组态软件与开发工具VB对DDE技术的支持。通过实例说明了组态软件与VB应用程序之间利用DDE进行数据通信实现方法。     

基于拟连续高阶滑模的高超声速飞行器再入姿态控制

考虑模型参数不确定和外界干扰对再入制导控制性能的影响,基于拟连续高阶滑模控制策略对高超声速飞行器的再入制导控制问题进行了研究.首先,给出再入制导指令的设计过程.其次,基于再入飞行特性对模型进行简化,获得面向控制的姿态模型,在此基础上,通过引入新的控制变量,设计解耦滑模面,实现姿态间的解耦.再次,为了削弱控制抖振,通过引入虚拟控制,对系统进行增广,基于齐次性理论设计拟连续三阶滑模再入姿态控制器,确保系统在有限时间实现对制导指令的稳定跟踪.最后,六自由度再入飞行器的制导控制一体化仿真结果表明,本研究给出的控制策略在不影响系统鲁棒性的同时,能够实现对标称轨迹和再入姿态的综合控制.     

WSN中多路径路由协议算法的改进研究

不同于传统的网络,无线传感器网络能够协同地进行实时监测、感知和采集网络覆盖区域中监测对象的信息,并对其进行处理,处理后的信息通过无线方式传送,并以自组多跳的方式传送给观察者。路由协议的研究是无线传感器网络研究重点之一。蚁群算法是一种模仿自然界蚂蚁觅食的仿生算法,生物学家经过长期观察发现,蚂蚁总能够在巢穴和食物源之间找到一条最短路径。文中采用蚁群优化策略,给出了一种SMR多路径路由协议的改进算法ACO-SMR。该算法在保留SMR算法优点的基础上,进一步提高了资源利用率和路径稳定性,以及延长了网络生存时间。