硅基PZT压电驱动MEMS光开关的设计与优化

采用压电多层悬臂梁理论分析模型 ,研究了一种新型PZT压电复合多层膜悬臂梁驱动光开关的机械性能 ,探讨了结构参数与悬臂梁机械性能的关系及影响光开关机电性能的因素。提出了一种新的硅基PZT压电复合膜悬臂梁驱动光开关的制作方法。给出了 2 5V工作电压下优化的器件结构 ,并对理论分析结果与压电复合多层膜悬臂梁的有限元耦合场分析结果进行了比较     

用于硅衬底隔离的选择性多孔硅厚膜的制备

在硅衬底上形成高阻隔离层对于提高硅基射频电路的性能具有重要意义。采用多孔硅厚膜作为隔离层 ,能够极大地降低衬底高频损耗。本文对n+型硅衬底上选择性多孔硅厚膜的制备进行了研究。通过在阳极氧化反应中采用不同的HF溶液的浓度、电流密度和反应时间来控制多孔硅的膜厚、孔隙度等特性。有效地减少了多孔硅的龟裂失效 ,得到的多孔硅最大膜厚为 72 μm。并测量了多孔硅的生长速率与表面形貌     

ZnO薄膜的XPS研究

利用等离子体增强型MOCVD设备,在C面蓝宝石上生长出了C轴取向的未退火、生长后一次退火和生长过程中多次退火的ZnO薄膜样品,并通过X光衍射和X光电子能谱对样品进行了表征,结果表明生长过程中多次退火的样品具有较高的质量,O/Zn原子比较大,且受空气中氧和水汽的影响最小.     

真空炉高温除气工艺对降低不锈钢出气率的作用

真空炉高温除气工艺可以大大降低不锈钢出气率。通过应用实例,给出了真空炉高温除气和现场烘烤除气及二者结合除气的结果,分析了真空炉高温除气的有利因素,证明采用该工艺对于降低不锈钢出气率,从而获得超高真空具有显著的效果。     

考虑结构—基础—地基共同作用的筏板基础优化设计

利用ANSYS有限元软件,研究筏板基础与结构及地基土相互作用中的工作性状,通过分析基础混凝土强度、筏板厚度等因素对筏板基础的影响,对筏板基础进行了结构设计优化,为筏板基础的设计计算提供依据。     

阴极等离子体电沉积Pt颗粒弥散的Al2O3/YSZ复合涂层的性能研究

采用阴极等离子电解沉积弥散Pt颗粒增韧YSZ-Pt/Al2O3-Pt双层复合涂层。涂层中弥散的Pt颗粒阻碍的氧在涂层中的扩散,提高了涂层的抗氧化性能。Pt颗粒的弥散增韧显著提高了涂层的断裂韧性,缓解了陶瓷层与合金基体在高温下产生的热应力,使得涂层在高温服役过程中具有良好的抗剥落性能。     

产品满意度预测与误差控制研究

通过对产品设计和满意度测量过程的分析，提出了开展满意度预测研究的重要性，认为产品满意度预测是新产品评价的重要手段，新产品开发成功的重要途径，探讨了一种用户满意度预测与误差控制模型。     

一种求解直边简支扇形板振动特性的新方法

将富里叶 -贝塞尔级数引入积分方程方法 ,给出了一种求解直边简支扇形板振动特性的新的积分方程方法。数值计算结果表明该方法不仅具有简捷高效的特点 ,而且具有较高的精度和稳定性 ,从而为分析更为复杂的扇形板结构的振动问题提供了可靠的前提     

新一代天气雷达开关及触发器组件快速检修系统设计

针对新一代天气雷达发射机开关和触发器组件故障频发,维修时效长,难度大等特点,提出了一种能够快速、便捷、高效、安全的新一代天气雷达开关和触发器组件关键芯片自动快速检测系统设计方案。该自动检测系统采用了机外脱机测试方法从而保证了雷达设备和人身的安全。该自动检测系统采用了发光二极管指示灯输出测试结果的自动快速测试方式,保证了雷达修复的较短时效。该自动检测系统直接测试雷达开关和触发器组件内部电路板常用关键芯片,而不是更换整个笨重的分机组件备件,从而使得维修新一代天气雷达故障变得便捷高效。新一代天气雷达开关和触发器快速检修系统研制完成后在多个台站得到了试用,试用实例结果表明其效果良好,可以给全国其他新一代天气雷达站快速维修新一代天气雷达提供借鉴和参考。     

高居里点压电陶瓷材料研究进展

本文分别介绍了钨青铜型、含Bi层状和钙钛矿3种不同压电陶瓷的结构，并对这3种不同结构下的高居里点Tc压电陶瓷材料的研究情况进行了综述，指明了高居里点压电陶瓷的研究方向。