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衬底减薄可以大幅提升SiC结势垒肖特基(JBS)二极管的电流密度,但减薄工艺和减薄引入的激光退火工艺仍面临巨大挑战.使用不同型号的金刚砂轮模拟了SiC衬底减薄精磨过程,研究了精磨后SiC衬底的界面质量;同时,使用波长为355 nm的紫外激光器退火Ni/4H-SiC结构,分析了激光能量密度对欧姆接触的性能影响;最后,结合减薄工艺和激光退火工艺制备了厚度为100 μ,m的1200 V/15 A SiC JBS二极管.结果 表明,使用超精细砂轮精磨SiC衬底后,其表面粗糙度为1.26 nm,纵向损伤层厚度约为60 nm;当激光能量密度为1.8 J/cm2时,能形成良好的欧姆接触,比接触电阻率为7.42×10-5 Ω·cm2;厚度减薄至100 μ.m的1200 V/15 A SiC JBS二极管在不损失阻断性能的情况下,其正向导通压降比未减薄的减小了0.15V,电流密度提升了41.27%. 相似文献
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针对燃煤机组干化掺烧湿污泥通常采用圆盘蒸汽干化机,干燥热源一般为厂内辅助蒸汽,其系统能耗高,整体效率较低,提出了一种利用烟气余热干化湿污泥的系统和设备配置方案.带式污泥干化机利用了燃煤机组中低温热源干化湿污泥,其与燃煤机组烟气余热系统的完美结合,充分发挥了各自设备和系统的优势,真正实现了节能减排,进一步提高了效率和经济... 相似文献
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为改善混响背景下传统匹配滤波算法效果不佳问题,在分析其非平稳性、有色性和非高斯性的基础上,提出了混合高斯时变自回归模型(Gaussian mixture Tvar Model,GTM),推导了模型公式及其参数求解方法,形成了GTM回波检测算法。为对混响特性及滤波效果进行定量描述进而验证算法性能,给出了一种定量衡量混响非平稳性、有色性、非高斯特性的滤波效果评价方法。通过实测混响分析表明,GTM模型能够较好地拟合实测混响的概率密度曲线和功率谱密度曲线,实现了混响背景下回波的有效检测并改善混响特性。 相似文献
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热电厂供热改造中利用热泵提取凝汽器循环水余热可以节约能源,介绍了溴化锂吸收式热泵的工作原理及其特性参数的选择原则,以某热电厂2×600 MW亚临界凝汽机组供热改造实例,介绍了机组配置热泵方案及其选型参数的确定,指出电厂采用热泵机组后,提高了发电机组热效率,在供热量和发电量不变前提下,降低了锅炉的煤耗,最后提出了热泵选型时应注意的问题。 相似文献