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蓝宝石衬底片化学机械抛光的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为了提高蓝宝石化学机械抛光(CMP)效果,对其抛光工艺进行了研究。采用SiO2磨料对蓝宝石衬底片进行抛光,分析了抛光时的温度、pH条件、磨料粒径及浓度,结果表明,采用80nm大粒径、高浓度的SiO2磨料,既可以保证抛光速率,又能得到良好的表面状;当pH值在10~12时,可加速蓝宝石在碱性条件下的化学反应速率,从而提高抛光速率;在30℃时,能较好地平衡化学作用与机械作用,获得平滑表面;加入适量添加剂,可增大反应产物的体积,易于提高机械作用的效果,以获得较高的去除速率。 相似文献
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12月11日上午,由杭州市政府和中国包装联合会共同主办的世界包装组织亚洲包装中心建设全面启动暨亚包大厦奠基仪式在杭州钱江新城亚包大厦建设工地隆重举行。500余位中外嘉宾冒着初冬的霏霏细雨恭逢盛会。 相似文献
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近十多年来,我国高等教育快速发展,高校的设备采购数量也相应增大,这对采购招标工作的规范化管理提出更高的要求。因此,应对员工业务素质、采购形式、招标流程和监察审计等方面的规范化管理进行探讨,以保证采购质量,提高工作效率。 相似文献
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以东滩煤矿3303综放工作面在FS46断层附近的轨道顺槽为研究背景,采用数值模拟与现场观测相结合的方法,探讨了3303综放面轨道顺槽在上覆煤层开采期间的应力分布变化情况,并通过对3203工作面回采巷道变形量的分析,对应力集中区域进行分析和划定,进一步认识了构造复杂区域的矿压显现规律,揭示出复杂地质构造对煤层开采的影响规律,为类似地质条件的工作面进行高产、高效、安全生产提供借鉴. 相似文献
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以水和CMC溶液为研究对象,通过无线实时温度传感器检测热杀菌过程中罐中心温度的变化,并以COMSOL Multiphysics软件为基础建立传热模型。对比模拟结果与实际数据发现模型能很好地模拟罐中心点温度的变化。在此基础上,进一步用COMSOL Multiphysics软件模拟整罐空间的温度分布、速度分布及致死率值,得出在50 s与4 000 s时,水的最大流动速度分别为6.36 mm/s和5.05 mm/s,1%CMC溶液的最大流动速度分别为0.394 mm/s与1.124 mm/s,罐内最慢加热区(SHZ)位于罐体高度10%~30%处,与文献一致。杀菌结束时,水的最大、最小致死率值相差0.6min,而1%CMC与2.5%CMC溶液最大、最小致死率相差分别为12.4 min和18.86 min,这表明对于较高黏度的食品应采用旋转杀菌。 相似文献
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