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极紫外光刻(EUVL)技术是实现45 nm特征尺寸的候选技术之一,产业化设备要求300 mm硅片的产率大于每小时80片(80 wafer/h),此时入射到掩模版上的极紫外光功率密度很高,掩模版上的吸收层和Mo/Si多层膜将分别吸收100%和35%的入射光能量,从而导致其热变形,引起光刻性能下降,因此必须分析和控制掩模热变形。利用有限元方法分析掩模版在不同功率密度下的热变形,结果表明,抗蚀剂灵敏度为7 mJ/cm2和5 mJ/cm2时,入射到掩模版上的光功率密度分别为259.24 W/cm2和184.38 W/cm2,掩模版图形区域x-y平面内最大变形分别为1.11 nm和0.71 nm,z方向最大变形分别为0.26 nm和0.19 nm。 相似文献
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本文详细地说明了电机驱动、监控报警控制电路的设计及研制过程,并对研制过程中所遇剑的技术难点和关键技术进行了重点阐述。产品的性能指标与国外同类型控制电路相当,具有很大的实用性与通用性。 相似文献
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本文阐述了凌力尔特公司LTC3780控制片的特点,具体介绍了该控制片的基本工作原理,对电路的关键元件参数设计及设计要点做了阐述。 相似文献
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为了进一步提高纹理图像的检索性能,提出了一种基于统计模型离的纹理特征提取算法。根据小波分解的特点,从小波系数角度出发,以每个子带的小波系数系数直方图分布特性作为纹理特征,采用混合高斯模型和一般高斯模型分别对低频和高频信息进行描述,利用最大似然估计规则将特征提取和相似计算结合起来,采用KL距离进行度量。与一般高斯模型方法比较,该算法具有检索精度高等特点。理论分析和在纹理图像检索的对比实验数据说明该算法在纹理特征提取方面的性能较一般高斯模型方法提高了5%。 相似文献
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对于七喜这种以生产销售计算机配件和整机为主的厂商来说,要想在强手如林的国产手机中博得一席之地,那么产品就一定要有自己的特色,同时定位也 要准确。还好,到目前为止七喜所推出的手机,还没有让大家失望,特别是“音势 力”系列手机,更是凭借自己不俗的外形设计以及优异的音乐功能,受到不少人的 好评。最近,七喜在千元级市场上推出了自己最新的直板手机H767,为“音势力” 家族又增添了一名干将。[编者按] 相似文献
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广播式自动相关监视(ADS-B)作为新一代空中交通管理(ATM)通信协议,是未来空管监视系统的关键技术。目前,由于ADS-B采用明文格式广播发送数据,其安全性问题受到挑战。针对ADS-B易受到的欺骗干扰,该文将ADS-B位置数据和同步的二次雷达(SSR)数据作差,将两者的差值作为样本数据。利用多核支持向量数据描述(MKSVDD)训练样本,得到了超球体分类器,此超球体分类器能检测出ADS-B测试样本中的异常数据。并且,通过粒子群算法(PSO)优化了GaussLapl和GaussTanh两种MKSVDD的惩罚因子、多核核函数系数以及核参数,提高了异常数据检测性能。实验结果表明,对于随机位置偏移、固定位置偏移、拒绝服务(DOS)攻击和重放攻击,粒子群优化多核支持向量数据描述(PSO-MKSVDD)模型能检测出这4种攻击类型的异常数据。且相较于其他机器学习和深度学习方法,该模型的适应性更好,异常检测的召回率和检测率更优。证明该模型可用于ADS-B异常数据的检测。 相似文献
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不知各位读者在使用手机电话簿时是否有这样的体会,当我们的电话簿名单越来越多的时候,要在里面找某个人的电话号码是不是很困难?不过现在好了,sony公司最近出品J16很好的解决了这个问题,并且提供了比其他品牌手机更强大的分组功能。 现在我们就配合图片来介绍一下J16的分组电话簿的使用。 首先进入 电话簿菜单。 用手机滚轮选到某个姓名──“X熊建”。 选择“组名未定义”。 可以看到J16手机提供的大量分组标识,我们选择其中一个──“男朋友”。 现在我们回到电话簿的主菜单,选择“查找”。 这时在查找菜单中有“按… 相似文献