碱性抛光液中H_2O_2对铜布线CMP的影响

化学机械平坦化(CMP)过程中,抛光液的化学作用对平坦化效果起着不可替代的作用。介绍了碱性抛光液中氧化剂(H2O2)对铜布线CMP的作用:H2O2对铜的强氧化性可以将铜氧化为离子状态,然后在螯合剂的螯合作用下快速去除铜膜;H2O2对铜的钝化作用可以保护凹处铜膜不被快速去除,从而有效降低高低差。此外,还研究了碱性抛光液中不同H2O2浓度对铜的静态腐蚀速率、动态去除速率及铜布线平坦化结果的影响。研究表明:抛光液对铜的静态腐蚀速率随H2O2浓度的增大逐渐降低然后趋于饱和;铜的动态去除速率随H2O2浓度的增大而逐渐降低;抛光液的平坦化能力随H2O2浓度的增大逐渐增强再趋于稳定。     

快速热处理对重掺As硅单晶中氧沉淀的影响

对重掺As硅片进行快速热处理，发现重掺As硅片中氧沉淀行为与快速热处理温度、保温时间和降温速度有很大的关系. 随着快速热处理温度的升高、降温速度的增大和保温时间的延长，氧沉淀的密度增大. 最后对影响的机理进行了讨论.     

宽频带微带传输线巴伦的研究

对具有宽频带特性的微带传输线巴伦进行了研究,并应用微波网络优化理论对其进行了详细的理论分析与设计,数值计算结果与有关文献一致。最后,设计并制做了具有十倍频程的微带传输线巴伦,举例说明了本文方法的有效性。     

高精度环形谐振腔的结构设计及优化

环形谐振器作为谐振式光学陀螺的核心敏感部件,其精细度的大小直接影响光纤陀螺的灵敏度,所以研究光纤环形谐振器的特性及其精细度是优化陀螺设计和制造及提高性能的关键.通过对比分析不同耦合器结构的耦合原理,系统分析了在一定激光器线宽的基础上,谐振式光学陀螺系统灵敏度和谐振腔光路中各参数的间的关系及耦合器耦合系数与各损耗参数间的关系.设计优化R-MOG系统的主要参数.最终在同时考虑到谐振腔的高精细度和高Q值得前提下,得到当腔长尺寸为21.4 cm时,精细度达170,Q值为3.34107,此时,灵敏度为0.48 ()/h,并且,通过建立一个R-MOG闭环实验系统,对系统双路转动的闭环响应进行了测试,这为陀螺系统的构建提供了理论和实验基础.     

页岩微观结构灰度图像的标准化方法

采用灰度图像分析方法获取页岩孔隙结构参数是目前页岩微观结构表征的一种重要手段。在扫描成像过程中,往往需要根据样品自身特点调节亮度、对比度等参数以达到较好的成像效果,这会导致不同视域、不同样品的图像灰度分布特征发生变化,从而导致识别孔隙的灰度阈值产生差异。为了实现统一标准识别页岩孔隙,研究以SEM图像为例,由图像灰度分布影响因素分析入手,在提取一系列标志参考物灰度的基础上,通过合成灰度累计概率分布建立了待校正图像的代表性灰度分布,在此基础上确定了待标准图像与标准图像合成灰度累计概率分布之间的映射关系,采用图像灰度直方图匹配算法实现了图像标准化。研究结果表明,页岩中的孔隙、有机质、自生石英、黄铁矿等4种组分组合后可覆盖整个图像灰度分布,是有效的标志参考物组合。利用该标志物组合所合成灰度累计概率分布作为不同图像间的对比参数进行标准化,可以消除组分含量差异对灰度分布的影响,达到校正对比度和亮度等扫描参数设置差异对图像灰度的影响。经验证,该方法对采用不同拍摄参数的图像均具有较好的应用效果,经过标准化处理后的图像能够实现同一灰度阈值自动识别页岩孔隙和有机质等地质元素,提高了图像提取孔隙结构参数的可对比性,为页岩微观图像孔隙结构定量分析提供了可靠基础。     

AWGN和FEXT噪声下铜双绞传输线的信道容量

本文研究加性白高斯噪声和远端串音两种噪声并存时铜双绞传输线的信道容量，用数值方法给出了不同线路长度和不同输入功率时的信道容量，研究了达到信道容量时的最优输入功率谱密度分布。计算结果表明，在加性白高斯噪声和远端串音同时存在时，信号的输入功率谱不再为均匀分布，这种不均匀性随着输入功率的增加更为明显。这与干扰为纯白高斯噪声时，最优输入功率谱近似为均匀分布的结果是不同的。     

煤巷锚喷合理支护参数的确定

通过对淮北桃园矿8224机巷锚喷合理支护参数的观测分析,优化了锚杆支护参数,在保证巷道支护安全的前提下,提高了成巷速度,降低了支护成本.     

500kV电容式电压互感器预试时的电容量和介损测试分析

阐述了５００ｋＶ电容式电压互感器在不拆一次引线进行预防性试验时测量电容量和介质损耗因数的方法和技术,并进行了理论推导和实例分析。分析结果表明：该测试方法易操作、误差小,泽现场预试有一定的指导意义。     

多媒体桌面会议系统

本文详细论述了基于ＰＳＴＮ和ＩＳＤＮ的多媒体桌面会议系统的体系结构和工作原理，并对系统采用和标准和所要解决的主要技术问题进行了阐述。     

一种接入信息高速公路的新技术ADSL

新近出现的非对称数字用户线（ＡＤＳＬ）技术利用用户网中现有的铜双绞线提供１．５～６Ｍｂ／ｓ的下行数字信道，为接入信息高速公路提供了一条新途径，本文首次论述ＡＤＳＬ的基本概念，技术，发展现状和应用，最后论述我们对发展我国ＡＤＳＬ接入设备的几点建议。