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31.
柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用聚对二甲苯(parylene)作为基底,通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计,并采用微机电加工工艺(MEMS),设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵列,旨在为视网膜神经接口电极的研究开发奠定基础.  相似文献   
32.
研究了一种新型利用磁微球的间接检测癌细胞的生物传感器。利用磁微球分离细胞,将分离细胞过程和检测过程分开,避免了现有方法制作敏感膜的步骤。实验结果表明:这种检测方法操作简单、快速,具有明显的灵敏性和选择性。  相似文献   
33.
介绍了现有四臂压电式加速度计的工作原理及ANSYS软件在压电式加速度计方面的应用。将传统的四臂压电式加速度的悬臂梁改用沟槽式结构。并使用ANSYS软件进行仿真分析,发现沟槽结构的加速度计的灵敏度可以高达0.633 5mV/gn,远高于平坦基体表面结构式加速度计的灵敏度(0.281 95mV/gn)。  相似文献   
34.
35.
本文针对中职学生特点和现用的教法已不适应职业学校计算机教学的现象,根据教学理论的引导,提出了项目教学法以及实施方法,并结合计算机专业会计信息化基础课程进行了详细实例的阐述和提出了存在的问题,培养学生的学习积极性和能力体系,旨在为职业学校的计算机教学提供有意义的参考。  相似文献   
36.
制作了一种新型的基于纳米晶PZT/石英的压电生物质量传感器。采用了溶胶-凝胶法在石英晶体表面制备了纳米晶PZT薄膜,形成PZrr/石英结构的敏感单元。研究了纳米晶PZT在石英基体上的微观结构、表面形貌;探讨了纳米晶PZT/石英作为敏感单元在细胞检测中的作用。实验结果表明:PZT薄膜的晶粒大小为20-30nm,沿〈101)晶向择优生长,并且,薄膜表面平整,结构致密。纳米晶PZT/石英结构的敏感单元使生物细胞传感器的灵敏度得到了提高。  相似文献   
37.
纳米晶PZT薄膜体声波谐振器的研究   总被引:1,自引:1,他引:1  
采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,在Si基Pt电极上沉积了PZT压电薄膜,并研制了以SiO2为声反射层的体声波谐振器.用X-射线衍射、电镜扫描及原子力显微镜测试表明,PZT薄膜具有(110)择优取向,良好的短柱状自行晶结构及平滑的表面,晶粒平均尺寸为50~60 nm.介电性能测试结果表明,介电常数保持约800,损耗角为0.02.用网络分析仪测试体声波谐振器得到较好的频率特性,即串、并联谐振频率分别为2.91 GHz和3.01 GHz,机电耦合系数为8.18%.在敏感元电极上加载1 μL浓度为0.2 μg/μL的磁性微球溶液,谐振频率降低了0.09 GHz.  相似文献   
38.
基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
吴义伯  侯安州  倪鹤南  徐爱兰  惠春  任秋实 《半导体技术》2007,32(12):1018-1020,1036
基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号.以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列.采用MEMS加工技术,设计了一种基于parylene柔性神经微电极阵列的加工工艺方法,并讨论了在流片过程中的关键问题,如掩膜层的选择、电极的剥离及焊接与封装等.该柔性微电极阵列在用于视觉假体的神经接口方面具有独特的应用优势.  相似文献   
39.
在高辅料比啤酒酿造过程中,为了得到α-氨基氮含量合适,高、中、低分子氮分布合理的麦汁,又能达到降低生产成本的目的,本文在糖化初始阶段,添加不同剂量的蛋白酶,考察对麦汁的影响。实验结果表明,使用45%的玉米淀粉,同时利用国产麦芽代替部分澳麦,并添加蛋白酶80U/g麦芽时,能够有效提高麦汁α-氨基氮的水平,满足酵母发酵需要,提高可溶性总氮的含量,并且能降低高分子蛋白质含量,使高、中、低分子氮分布合理。  相似文献   
40.
MEMS气敏传感器   总被引:2,自引:0,他引:2  
惠春  徐爱兰  徐毓龙 《功能材料》2003,34(2):133-134,139
随着MEMS技术的飞速发展,各种MEMS器件和系统相继问世,MEMS气敏传感器是其中之一。本文重点介绍了7种MEMS气敏传感器。  相似文献   
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