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由于设计的MEMS高g加速度传感器固有频率低,导致测试过程中出现谐振现象。本文分析了传感器的特殊结构参数对固有频率的影响,提出了一种优化固有频率的方法。该方法通过减小质量块质量和优化梁厚度与长度的比例来调整传感器的固有频率,并通过理论仿真验证了该结构的固有频率从330 kHz提高到550 kHz,然后利用动态测试系统对优化前后的高g加速度传感器分别在20 000gn和150 000gn作用下测试输出信号。实验表明该优化方法提高了该类传感器结构的固有频率,明显消除了测试中的谐振现象。 相似文献
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<正>产业集群在企业竞合中,将规模优势不断转化为质量优势、系统优势、创新优势纺织产业集群是广大中小企业生存发展的主要空间载体,是纺织产业高效协同、产业韧性活力以及综合竞争力的重要支撑。近年来,我国纺织产业集群科技创新能力明显提升,产业集群在企业竞合中,将规模优势不断转化为质量优势、系统优势、创新优势。本文从专利视角对中国纺织产业集群及企业竞争力进行分析,梳理国内纺织产业专利布局、产业园区布局、企业聚集的现状及区域创新主体的创新力现状,为推动我国纺织产业区域结构调整、促进产业成熟地区紧密协同创新、促进产业集群发展提供参考。 相似文献