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11.
李可为 《半导体技术》2012,37(10):776-780,789
利用微波-电子回旋共振等离子(ECR)增强型PVD设备,低温外延生长了SiGe(C)薄膜。对所制备样品的结晶性、表面形貌和成分与衬底温度、衬底偏置电压的关系进行了讨论,采用反射式高能电子衍射仪(RHEED)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射仪(XRD)对薄膜的晶体质量和表面形貌进行了分析。结果表明,用单靶制备Si(C)薄膜,在衬底温度为450℃时会得到质量较好的单晶薄膜。而利用双靶制备SiGe(C)薄膜,衬底温度为400℃、衬底偏置电压-15 V时会制备出更好的单晶薄膜。在衬底温度为400℃条件下,添加电流导入端子,在原有设备和衬底温度不变的条件下,当电流导入端子电压为-15 V时,制备的SiGe(C)单晶薄膜材料的AFM均方根粗糙度(Rrms)由原来的0.52 nm降低到0.41 nm。  相似文献   
12.
一、工作原理 春兰KFD70LW过欠压保护电路原理如图所示。该电路以LM339四电压比较器为核心,ICa.b两个单元构成取样比较电路,通过同相与反相输入端的电平作比较,再决定其输出端的电平。电平逻辑关系即V_+>V_-,输出端为高电平;V_+相似文献   
13.
以使用国产工业纯原料为前提,讨论了SiO_2的种类及粒度对PTC材料之性能的影响。实验结果表明:选择小粒度的石英砂,对提高PTC材料的升阻比最为有利。选择SiO_2溶胶,对降低PTC材料的室温电阻率最为有利。  相似文献   
14.
高职高专教育的性质、市场状况以及行业需求决定了高职高专人才培养模式必须要以就业能力培养为核心.各大职业院校只有坚持以市场和就业为导向,以就业能力培养为核心,才能在人才培养方面取得应有的成绩.成都电子机械高等专科学校正是走的这样一条人才培养道路,实践证明,基于就业能力的人才培养模式无论是在提升学生就业率或是就业质量方面都有突出的成效.  相似文献   
15.
机车轴温监测系统是确保机车行车安全的重要设备,温度采集盒是该系统的重要组成部分。针对传统温度采集盒在运用中出现的问题,提出了采用dsPIC30F6011A单片机对其进行改进的解决方案,介绍了温度采集盒的系统原理,并阐述了系统的设计与实现。  相似文献   
16.
通过收集梁滩河流域的生态、经济和社会状况资料,并利用遥感解译技术,分析影响河流生态系统健康的因素,采用指标体系分析法和专家咨询法,确立梁滩河生态系统健康评价指标体系和评价标准,计算得出评价指标权重,并对河流生态健康状况进行了评价。结果表明:梁滩河上、中、下游生态系统分别处于"亚健康"、"不健康"和"亚健康"级别。该研究结论将为重庆市正在开展的梁滩河保护规划和治理工作提供科学依据。  相似文献   
17.
18.
经地球化学研究查明莺歌海盆地油气苗及浅层运移烃是海相成因油气,其源岩是上第三系(梅山组和黄流组)海相沉积岩。独特的石油地质条件构成了生油岩短期、高温、快熟和油窗窄、气窗宽的热演化特点,对于油特别是气的生成极为有利。该盆地有巨厚的海相生油岩,藻类等原始有机质丰富,生烃潜力大,可生成巨量海相油气、有广阔的勘探领域和寻找大气田的勘探远景。  相似文献   
19.
南海北部大陆架西区油气成因类型   总被引:1,自引:0,他引:1  
  相似文献   
20.
基于非硅微制造工艺的爆炸箔起爆器研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
为了实现爆炸箔起爆器的集成化和批量化制备,研究了爆炸箔起爆器非硅微制造工艺技术。采用磁控溅射和光刻技术制备了桥箔,通过紫外厚胶技术在桥箔上制备了聚甲基丙烯酸甲酯光刻胶飞片层,并利用SU-8光刻胶集成制造了加速膛,划片后一个衬底上制备了268个爆炸箔起爆器组件,每个组件的体积为0.018 cm3. 集成后的爆炸箔起爆器50%发火感度为2 185 V. 试验了爆炸箔起爆器组件的耐高温性能,结果表明在160 ℃下经历50 h以后,爆炸箔起爆器组件依然可以正常起爆Ⅳ型六硝基菧炸药柱。  相似文献   
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