阻挡层CMP中表面活性剂对抛光效果的影响

研究了阻挡层在化学机械抛光过程中表面活性剂的作用。利用5种活性剂体积分数不同的抛光液对3英寸(1英寸=2.54 cm)Cu/Ta/SiO2光片进行抛光。通过抛光前后质量变化可得各晶圆片的抛光速率,再对12英寸布线晶圆片进行抛光,利用台阶仪测量抛光前后碟形坑大小的变化,最后利用原子力显微镜对抛光后布线晶圆片的表面形貌进行测试。研究表明抛光液中活性剂体积分数不同会引起抛光速率的变化,也会影响碟形坑的修正效果。当抛光液中活性剂体积分数达到2.0%时,修正值达到85.6 nm/min,优于其他活性剂体积分数时的修正值。另外,活性剂体积分数的增加有助于降低抛光后晶圆表面的粗糙度。活性剂体积分数小于3.0%时,粗糙度随着活性剂体积分数的增加而降低。这一发现可以对配制抛光液时活性剂体积分数的确定起到一定的参考作用。     

γ全吸收型探测装置探测效率的实验与模拟

为精确测量keV能区中子俘获反应截面,中国原子能科学研究院核数据重点实验室基于中国散裂中子源反角白光中子源建成了国内首套γ全吸收型BaF₂探测装置。为获得重要的实验参数装置对γ射线的探测效率曲线,对单个BaF₂探测器模块能谱的测量数据与模拟结果进行比较。结果表明,测量¹³⁷Cs和⁶⁰Co源得到的实验结果与MCNP和GEANT4的模拟结果吻合较好,验证了模拟计算得到的探测效率曲线的可靠性,可用于中子俘获反应截面的在线测量。     

油藏数模并行化结构分析

油藏数值模拟的并行化是现代油藏数值模拟的重要发展方向之一。介绍了多处理机的并行方式,油藏数值模拟软件中应用的并行方式:区域分解算法、并行的线性系统求解以及多任务的并行。通过一个简单的算例说明并行算法在油藏数值模拟中的重要性。     

红外隐身技术与反红外隐身技术

本文以红外隐身技术与反红外隐身技术为内容，着重介绍了红外隐身技术与反红外隐身技术实现和发展以及其对红外制导武器的影响，并论及了我国红外隐身技术发展的对策。     

卫星遥感技术在土地执法监察中的应用

利用卫星遥感技术对土地利用情况进行监管监控是近年来土地监察工作中重要的技术方法和手段，发挥着独到的监督作用，它可以及时、快速、准确地发现土地利用的违法现象，从而最大限度地保证土地利用的合法性。     

超长预应力锚索在济南绕城高速公路高边坡治理中的应用

1 工程概况 济南绕城高速公路第K23+956～K24+200段路堑高边坡滑坡区域分六级开挖后,坡顶最高处距路面中心线垂直高度超过了80m。由于坡体的岩性较杂,且比较破碎且裂隙发育,治理难度较大,采用综合治理方案,其中关键技术为超长预应力锚索。设计锚索最大长度为45m,单锚最大抗拨力为1250kN。     

GC-MS分析技术在矿冶环境科学研究中的应用

分析GC -MS分析技术在矿冶环境科学研究中的重要作用 ,并介绍具体应用成果。GC -MS分析技术用于持久有机污染 (POPs)、多环芳烃 (PAHs)、含硫多环芳烃 (PASH)、内分泌干扰物 (DECs)、冶炼烟尘PM2 5复合污染等各类污染物的分析检测及示踪监测方面 ,对正确评价污染源、了解污染物的污染机理、选择污染治理措施提供了准确的数据 ,是矿冶环境科学研究不可或缺的检测手段与技术保障。     

球塞气举排水采气系统效率计算与分析

把球塞气举排水采气系统划分为压缩机组、地面注气管线、井内注气油管和球塞举升油管等几个子系统,分别建立了评价各个子系统效率的数学模型,从而得到了球塞气举排水采气系统效率的计算方法,并进行了实例计算与分析,所获得的结论及认识对进一步探讨球塞气举举升机理具有重要意义。     

玻璃钢-钢混合抽油杆合理组合范围分析

建立了玻璃钢-钢混合抽油杆柱无阻尼振动模型;给出了计算频率系数的计算公式;分析了二级玻璃钢混合杆柱面积比(Y1)、长度比(Y2)对杆柱频率系数的影响;给出了杆柱组成比例的合理范围.从实际设计出发,简化了三级杆柱频率系数计算公式,分析了三级混合杆柱面积比(Y3)、长度比(Y4、Y5)对频率系数的影响.