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141.
The optimization of electrolytes and the material removal mechanisms for Cu electrochemical mechanical planarization (ECMP) at different pH values including 5-methyl-1H-benzotriazole (TTA), hydroxyethylidenediphosphoric acid (HEDP), and tribasic ammonium citrate (TAC) were investigated by electrochemical techniques, X-ray photoelectron spectrometer (XPS) analysis, nano-scratch tests, AFM measurements, and polishing of Cu-coated blanket wafers. The experimental results show that the planarization efficiency and the surface quality after ECMP obtained in alkali-based solutions are superior to that in acidic-based solutions, especially at pH=8. The optimal electrolyte compositions (mass fraction) are 6% HEDP, 0.3% TTA and 3% TAC at pH=8. The main factor affecting the thickness of the oxide layer formed during ECMP process is the applied potential. The soft layer formation is a major mechanism for electrochemical enhanced mechanical abrasion. The surface topography evolution before and after electrochemical polishing (ECP) illustrates the mechanism of mechanical abrasion accelerating electrochemical dissolution, that is, the residual stress caused by the mechanical wear enhances the electrochemical dissolution rate. This understanding is beneficial for optimization of ECMP processes. 相似文献
142.
以离子液体1-烯丙基-3-甲基咪唑氯盐([AMIM]Cl)为溶剂、氯化锂(LiCl)为添加剂,通过测定纤维素溶液的流变性能来考察LiCl对纤维素/[AMIM]Cl溶液纺丝性能的影响,发现纤维素/[AMIM]Cl/LiCl呈现切力变稀行为,当LiCl添加量为[AMIM]Cl质量的3%时,切力变稀行为最明显.使用双螺杆挤出机通过干湿法纺丝制备出了高浓度的纤维素纤维,通过XRD、偏光显微镜、SEM及单纤强力仪等表征了纤维的结构与性能,结果表明随着LiCl含量的增加,所得纤维的结晶度和双折射率增加,结构致密,纤维强度增加,当LiCl含量达3%时,纤维强度可达3.13 cN/dtex. 相似文献
143.
采用多种细胞因子诱导外周血单核细胞分化为成熟的树突状细胞(DC,Dentritic Cell),将成熟DC与初始T细胞共培养,并连续加入DC刺激从而避免活化的T细胞凋亡。将活化的T细胞转入包被有CD3和CD28抗体的板中,使活化T细胞进一步大量扩增。流式检测多因子诱导后DC表型发现,高表达CD83、CD11c、CD11b、CD80、CD86、CCR7、CD54,低表达CD14、CD3、CD33,说明因子成功诱导单核细胞为成熟DC。流式检测扩增的活化T细胞发现高表达CD3、CD8,含有很低量的调节性T细胞(Treg),分泌大量的IFN-γ,表明扩增出的细胞中活化T的含量很高,为临床研究提供参考。 相似文献
144.
正截至2014年3月,国务院取消和下放的行政审批项目已达362项,今年还将再取消和下放行政审批事项200余项,在新的改革形势下,固定资产投资项目审批制度正在发生重大变化,以往需要审批或核准的项目,如今可以通过更简化的程序完成立项。但是在当下各地方政府加快转变政府职能,抓紧做好取消和下放管理层级行政审 相似文献
145.
因为径流时空分布不均和不确定性,水电、火电为主的电力市场之间存在极大的不同,如何评估梯级水电参与电力交易风险是亟待解决的问题。该文结合西南某水电居主导地位的电力市场交易规则,构建了耦合月度交易和日前增量交易的梯级水电站参与市场交易的风险分析方法:采用Copula-Monte Carlo方法生成日径流和日前增量交易出清电价的组合场景,利用增强精英保留策略遗传算法计算所有场景的发电收益,获得给定置信水平下相应的条件风险价值。提出的方法综合考虑了径流、电价的不确定性,也计及了结算规则中各交易品种结算顺序和偏差考核标准,能直观求解收益风险值,过程简单、物理意义明确。以某电网梯级水电参与电力市场的实际资料为例,进行结果的仿真分析,结果表明所提方法可方便地求解交易组合风险价值,与单独考虑电价和径流相比能更合理的评估收益风险价值。 相似文献
146.
利用射频磁控溅射技术,以Ar和O2气混合气体为溅射气体在载玻片上制备了锐钛相TiO2薄膜。为了提高Ti02薄膜的光催化活性,在TiO2薄膜表面进行了钽修饰。利用X射线衍射(XRD),原子力显微镜(AFM)和UV-VIS-NIR分光光度计等技术对薄膜进行了表征。结果表明:对TiO2薄膜的表面进行适量的Ta元素修饰可以提高其光催化活性。 相似文献
147.
在粉末冶金的基础上,结合半固态金属加工技术和21世纪陶瓷基复合材料成形的发展趋势,从而提出了陶瓷基复合材料伪半固态触变成形工艺,并且应用该工艺将2A12铝合金粉末和基体SiC颗粒按不同比例混合而得到的复合材料制备出卫星角框架制件。通过金相分析、拉伸等试验,证明了用该工艺成形陶瓷基复合材料是可行的。结果表明,该工艺成形的零件微观组织比较均匀,硬度比较高并且具有一定的塑性,为陶瓷复合材料以及高熔点材料在更多领域中的应用起到推进作用,同时为该工艺的进一步研究奠定了基础。 相似文献
148.
149.
摩擦带在选材、设计及强度计算中仍广泛采用传统的强度观点,至使摩擦带寿命较短,断裂事故时常发生。我们认为摩擦带的寿命由疲劳裂纹生成及扩展两部分决定,因而必须用断裂力学方法进行研究。文中用断裂力学理论给出了摩擦带的强度计算及寿命估算方法。 相似文献
150.