光刻投影物镜畸变检测中的位移测量误差分析

在光刻投影物镜的畸变检测中,位移测量误差是光刻投影物镜畸变检测的重要误差源之一,深度分析误差源并减小误差项,可提高光刻投影物镜的畸变检测精度。本文将运动台的定位与测量技术相结合,着重分析利用夏克-哈特曼波前传感器对投影物镜进行畸变检测时像质检测台的位移测量误差。并以一套投影物镜像质检测台为例,对其在投影物镜畸变检测中的位移测量误差进行分析,利用该像质检测台对某一投影物镜进行畸变检测,畸变检测结果约80 nm,其中该像质检测台的位移测量误差会给畸变检测结果带来约22 nm的不确定度。     

数字PCR法在食品检测标准物质研制中的应用

食品检测标准物质是保证食品检测量值溯源性、互认性和准确性的测量标准,其研制需要精准的定值方法。数字PCR法是灵敏、准确和抗基质干扰强的核酸绝对定量方法,已在医疗诊断、转基因检测和动物疫病检测等众多领域广泛应用。对数字PCR法进行介绍,综述其在转基因食品检测、动植物源性分析和食源性致病菌检测标准物质研制中的研究进展,以期为食品检测核酸标准物质的研制提供参考。     

视频压缩播放高手RAD Video Tools

RAD Video Tools是由RAD game tools公司制作的一款视频处理软件。该软件原本是为方便游戏制作商制作多媒体视频互动游戏而开发的视频播放软件,但随着用户的不同反     

超声波在活性炭深度处理污水中的作用

为解决超声波与活性炭联合处理石油污水的COD问题，利用超声波与活性炭对溶液的作用机理，分别对超声波在活性炭处理前、处理中及处理后所起的作用进行了实验研究。结果表明，在活性炭进行处理之前先用超声波进行处理，COD的降低率最高。说明用超声波作为预处理手段，有助于提高后续活性炭处理的效果。     

火电厂大容量锅炉水冷壁的三机吊装

针对火电厂大容量锅炉水冷壁吊装困难的问题，对三机吊装方案进行理论研究，介绍了吊点位置选择、强度校核及吊点位置调整方法。利用绳索总长不变为控制变形协调条件来求解超静定问题，进而求得水冷壁的最大应力，进行强度校核。此方法对其他一些细长构件同样适用，具有一定的实用性。     

顶空气相色谱-质谱法测定食品用纸包装材料中的溶剂残留

采用顶空气相色谱-质谱法对纸包装材料中16种挥发性有机物的溶剂残留进行分析。分析结果表明,该方法的检测限在0.002~0.02 mg/m2之间,相关系数r2大于0.997,样品回收率在86.9%~101.6%之间,相对标准偏差在3.2%~5.0%之间。通过样品的实际检测,验证了方法的可行性,能准确地对残留溶剂进行检测。     

基于线阵CCD 的高速光刻检焦技术

随着光学投影光刻分辨力的提高,投影物镜的焦深在逐渐缩短。为充分利用物镜有限的焦深,一般采用调焦技术来调整硅片位置。作为调焦的关键,检焦技术的研究尤为热门。现有的检焦方法多采用四象限探测器或者面阵CCD采集携带有硅片离焦量信息的光强信号,并在计算机上进行图像处理完成检焦。该方法处理速度慢,难以满足实时调焦的要求。鉴于此,提出了一种用线阵CCD采集图像,以FPGA为处理器的检焦方法。该方法利用线阵CCD的高速性和FPGA的并行性,结合多项式插值的亚像素边缘检测算法,能够高速实时检测硅片离焦量;同时, FPGA通过驱动电机控制工件台运动对离焦量进行补偿,形成一个实时闭环的调焦系统,减少了原有的计算机环节,具有高速度、高分辨率、低功耗、低成本的特点。     

生物油非催化热转化过程中受热结焦特性研究进展

生物油在受热条件下极易结焦,结焦是影响生物油规模化利用的重要因素之一,因此深入理解生物油受热结焦特性是实现生物油高效热转化利用的基础。本文从生物油热解过程的关键反应参数（温度、升温速率、气氛、压力、灰分）、生物油化学成分、生物油有机组分间交互作用、自由基反应特性等方面综述了生物油受热结焦特性相关研究进展,总结了反应参数对生物油热解结焦反应网络的影响,梳理了生物油各特征组分单独热解结焦及特征组分间交互作用对结焦特性的影响机制,并基于生物油结焦机理和焦炭的物化特性,总结了通过定向调控生物油结焦反应过程,将焦炭作为燃料和炭材料的潜在利用途径。最后,指出了明晰生物油受热结焦机理还需从生物油组分间交互作用机制和自由基反应机理的角度进一步探究。本文为实现生物油高效热转化利用提供了理论参考和借鉴。     

阻燃HIPS塑料热解动力学模型

采用热重法进行了含阻燃添加剂的高抗冲聚苯乙烯塑料(flame retarded high impact polystyrene,Br-Sb-HIPS)在不同升温速率下的热解实验,建立了包含3个连续反应的阻燃HIPS热解动力学模型。通过Flynn-Wall-Ozawa法得到阻燃HIPS热解过程的活化能为103~307 kJ·mol-1,利用多元非线性无约束最优化方法求得模型参数。研究表明,Br-Sb-HIPS 3个反应的活化能和指前因子分别为191.632、213.263、238.331 kJ·mol-1和11.641、12.772、11.666 min-1。动力学模型能够很好地预测阻燃HIPS热解过程。     

CO对NH3还原NO过程的影响与机理研究

为揭示CO对NH₃还原NO过程的影响,在不同CO体积分数下对NH₃还原NO过程进行了实验与模拟研究。实验结果表明：无氧气氛中存在CO时,对1 400℃以下NO还原率无显著影响;CO可提高1 400℃以上的NO还原率。在低氧体积分数条件下,CO的存在能扩展NH₃还原NO反应的温度窗口,使其在1 400℃以上仍保持高NO还原率。在高氧体积分数条件下,CO仅使最佳脱硝温度向低温移动,并使脱硝温度窗口变窄。模拟结果表明：在无氧及低氧体积分数条件下,1 400℃以上时CO可促进NH₂与CO反应生成HNCO,随后HNCO转化为NCO后将NO还原,增强了NO还原过程;高氧体积分数条件下,CO可在较低温度下促进OH、O等基团产生,保证NH₂生成及其还原NO过程进行;但温度升高会加快CO与OH反应产生H,H与O₂反应产生大量O,加速了NH₂氧化,导致NO还原率迅速降低。