瞬态退火过程中离子注入层杂质浓度分布的计算

本文在菲克定律的基础上导出了瞬态退火过程中注入杂质浓度分布与退火时间的关系,并对此理论结果进行了实验验证,两者符合良好。本文还讨论了瞬态退火过程中的增强扩散效应。     

GaAs离子注入Si的快速热退火

一、引言 GaAs集成电路的发展与在半绝缘衬底上进行外延的外延层或进行出子注入形成导电沟道的质量和接触区的常规工艺有关。由于在器件和电路制造过程中,存在外延材料成本高以及难以制成浅结等问题,所以,近年来,国际上广泛开展了离子注入高纯半绝缘GaAs来制造砷化镓场效应晶体管和进行GaAs单片集成电路的研究。离子注入具有掺杂浓度可控,均匀性和重复性好的特点,以及与其它工艺组合灵活等优点。但注入样品必须在高温(≥800℃)下退火,以消除注入损伤和电激活掺杂剂。在通常的炉子退火(850℃,30′)条件下,由于GaAs表面的As原子易挥发,使得GaAs的化学计量比失配,造成器件特性变坏。使用包封层,虽然解决了As原子的挥发问题,但由于包封层与样品之间的热膨胀系数不匹配,在高温下存在热应力,进而引起膜皱曲甚至脱落,样品表面层中该热应力引入缺陷杂质对材料特性产生影响。目前,国外研究较多的是快速热退火(RTA)。这种方法由于退火时间短,退火温度高,更有利于复杂缺陷的消除,激活层电特性好,注入杂质和衬底杂质的互扩散小,不需包封层,因此消除了包封层和衬底界面处的应力和组分互扩散,而且退火时不涉及AsH_3这样的有毒气体。     

浅谈鱼化龙的韵味

壶的造型构思巧妙,鱼、龙、云的装饰与壶身浑然一体。通身作海水波浪状,线条流利,简洁明快。鱼龙吐珠、神韵生动。     

浅谈＂葡萄提梁＂壶的造型艺术

《葡萄提梁》壶权衡协调花器与光器结合之美,显现了花器的唯美自然和光器的简朴大方,同时融入了自己的创作思想,在设计上增加文化艺术内涵,提升艺术欣赏品位.     

输水隧洞固结灌浆设计探讨

在水工输水隧洞上,固结灌浆是加固围岩、提高围岩承载能力及减少渗透的重要措施,合理的固结灌浆设计对隧洞安全尤为重要。结合宁夏固原地区(宁夏中南部)城乡饮水安全水源工程7#输水隧洞,对小断面隧洞的固结灌浆设计进行了探讨,根据现场生产性试验,提出4孔、5孔交错布置的设计方案。结果表明,该方案的实施在减少工期、节省投资的同时,灌浆效果满足设计要求,可供类似工程参考。     

凉水河北京南站段壅水特性数值模拟研究

北京南站改扩建工程跨凉水河桥在200m长河道上共布置桥梁18座,桥梁处于河道弯道处,桥墩的阻水影响加大了水头损失,造成河渠壅水。因此,有必要对扩建工程造成凉水河壅水影响进行评价,探索河道平面形态桥间距等因素对壅水高度的影响规律,确保河流和建设工程的正常运行。本次利用平面二维k-ε双方程紊流模型,结合自由表面模拟技术,采用清华大学CREST模型,考虑凉水河现状、规划情况及桥梁设计要求,选取4个断面,按不同流量对北京南站改扩建工程对凉水河壅水影响进行评价计算。计算结果表明:200m长河道范围内出现了不同程度的壅水,桥梁壅水的累积作用明显,凸岸的壅水高度和壅水影响明显大于凹岸。研究结果对凉水河防洪所采取的措施有实际意义,对北京南站改扩建工程的设计起技术指导作用。     

大同市文瀛湖水库防渗改造设计

由于库区周边地区地下水的大量开采,地下水位逐年下降,而且库区存在大面积的渗漏通道,库区蓄水大量补给地下水,文瀛湖水库已干枯,库区周边地区生态环境日渐恶化。为再现文瀛湖碧水蓝天的景象、提高现有水库的蓄水能力、有效地涵养水源和改善库区的周边环境,进行文赢湖水库防渗改造设计。