大圆片级制造0.2μm线宽的移相光刻技术

<正>据美国《Semiconductor International》1992年第6期报道,日本夏普公司研究成功大圆片级制造0.2μm线宽的移相光刻技术,它将应用于从64Mb到256MbDRAM的制造。随着电路集成度的提高,线宽不断减小,制造4 Mb DRAM需要线宽为0.8μm,而64Mb到256Mb则需线宽0.3～0.2 μm。     

悬臂梁光纤振动传感器的振动光调制模型

本文就采用弹性悬臂梁为振敏体的光纤加速度传感器研究中的关键性理论问题,即振动加速度对光强的调制的理论问题,利用连接器耦合理论推导出了完整的动态解析模型。套用此理论模型可方便地实现光纤振动传感器的计算机仿真和CAD。该模型还是光纤加速度传感系统信号处理的理论依据并可推广应用于其它光纤振动传感器的研究中。文中给出了利用计算机模拟出来的结果。     

常规-非常规天然气理论、技术及前景

中国天然气进入跨越式发展的黄金时期,成为向清洁能源过渡不可逾越的桥梁。通过对国内外天然气发展现状、理论技术、潜力前景进行重点研究和阐述,结果表明:(1)全球天然气资源丰富,剩余探明可采储量186×10~(12) m~3,储采比为52.4,具备长期加快发展的资源基础;(2)提出了常规-非常规天然气地质学内涵,其形成分布具有10条规律,天然气勘探地质形成以不同气源为核心的常规圈闭"单体型"大气田成藏理论、以不同岩类储集层为核心的非常规"连续型"甜点区聚集理论,天然气开发地质形成以常规"控制水侵"为核心的构造气藏开发理论、以"人工气藏"为核心的非常规天然气开发理论;(3)中国天然气地质资源量(不含天然气水合物)达210×10~(12) m~3,整体探明率不足2%,天然气储产量将持续增长,预计2030年前年增探明地质储量约为(6 000～7 000)×10~8 m~3,预计2030年常规、非常规气产量均有望达到1 000×10~8 m~3左右,消费量需求可达5 500×10~8 m~3,天然气对外依存度可能达到64%,2050年可能达到70%;(4)提出中国未来天然气发展应加大资源规模区勘探力度、提高非常规气开发效益、增强储气库调峰与LNG(液化天然气)规模建设等10条措施。     

悄然复兴的激光大气通信技术

简述了激光大气通信技术的兴衰过程，结合出国考察所了解到的情况指出，激光大气通信技术这一具有极大应用潜力的通信手段，随着各项关键技术的不断突破，正在逐步得以推广应用。     

无机絮凝剂在油田水处理中的应用发展

简要介绍了国内外油田水处理用的无机絮凝剂的基本情况。综述了无机高分子絮凝剂的种类、开发情况,重点介绍了聚铝、聚铁、硅酸盐的絮凝机理及在水中的形态,并指出其在油田水处理中的优缺点。提出了当前无机絮凝剂的应用和理论研究及发展方向。     

GaAs基通孔刻蚀的崩边形成机理研究

在砷化镓(GaAs)集成无源器件(Integrated Passive Device, IPD)的制作工艺中,通孔刻蚀是一道重要环节。蚀刻孔边缘的GaAs会被蚀刻,由此引发崩边并对器件性能及可靠性造成不利影响。本文中,用于通孔蚀刻的GaAs厚度不小于200 μm,通孔边缘没有被蚀刻的痕迹,以实现金属导线的平滑连接。采用光阻和金属来充当掩膜,有效解决了单一光阻因厚度过高而变形或者厚度薄导致GaAs衬底被蚀刻的问题。通过优化工艺,在光阻厚度为32 μm、金属掩膜厚度为0.5 μm、金属蚀刻时间为60 s以及感应耦合等离子体(Inductively Couple Plasma, ICP)蚀刻4000 s的条件下,得到了孔深为200 μm且通孔边缘平整的形貌。分析了 GaAs 崩边形成的主要原因与机理,并通过优化工艺解决了200 μm通孔的崩边问题,从而提高了器件性能及可靠性。     

异构物联网的开放式架构研究

An open architecture for converged Internet of Things (IoT) is proposed in this paper. By  using  this model, the various and huge amount of data can be converted into converged data and then encapsulated as service packages. Moreover, a Representational State Transfer (REST) platform has been implemented in the lab environment. The merit of this architecture is the enhancement of data efficiency. Experimental results are provided to show the benefits of the proposed architecture.     

声光调Q全固态绿激光器中的双控驱动电路

研制出新型双控声光驱动器,能够同步控制声光Q开关和LD抽运源的工作时间,并具有10W以上的输出功率及15ns(1个声光驱动射频周期)内的调Q开关时间.应用该驱动器的全固态调Q绿光激光器的能耗减少50%以上,温升减少10℃以上,热稳定时间减少到22%,用1W的LD抽运,得到了脉宽14.5ns、峰值功率lkW的无寄生脉冲绿激光输出.     

一曲充满创新激情的颂歌——四川联通八年跨越式发展解析

速度，令人惊异、富有激情的速度——到2004年2月，刚刚迎来八周年生日的中国联通四川分公司(四川联通)，在川累计完成固定资产投资超过100亿元，一个通达世界的现代、优质通信网络已覆盖全川；移动电话用     

基于映射法的曲面自适应网格生成

板壳成形数值模拟过程中用自适应网格不仅可以实现以尽可能少的计算量获得指定精度要求的解,更重要的是可以提高解的精度。而曲面自适应网格自动生成技术国内外都刚开始研究,目前没有很好的方法。本文首次基于映射法在参数区域生成自适应网格,然后映射到空间,用空间曲面的曲率及有限元计算误差估计来控制参数区域中的自适应网格生成。数值例子验证了本算法的正确性及可靠性。