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纳米科学技术将成为21世纪最重要的高技术之一。纳米技术的最终目标是直接操纵单个原子和分子,制造量子功能器件,从而开拓人类崭新的生产生活模式。文章评述利用电子束、离子束的精细技术和STM原子操纵技术的研究现状,介绍原子层蚀刻,单层抗蚀剂自形成蚀刻,纳米自然蚀刻和电子束全息纳米蚀刻等高技术前沿动态,展望纳米技术的发展前景。 相似文献
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纳米蚀刻技术及其在20GHz频段SAW器件中的应用阎永志利用纳米蚀刻技术可将图形做得非常精细(um级),将在ULSI、高速FET、分布反馈式激光器和GHz频段SAW器件等领域获得应用。常规蚀刻过程中,抗蚀膜层必须有一定厚度,但较厚的抗蚀膜无法获得纳米... 相似文献
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变速箱结构设计专家系统技术的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
结构设计是机械产品设计过程中的重要环节,解决结构设计的智能化不但可以缩短产品的设计周期,而且还可以降低成本,提高设计质量。专家系统是解决智能化设计的技术之一。本文讨论有关结构专家系统的几个关键技术,主要包括系统的控制策略,面积对象的知识表达方式及结构设计的并行设计 相似文献
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以2201采面为实例,介绍了在直接顶破碎、厚度小,而老顶坚硬完整条件下的采面初放期间,通过“浅槽裂顶、煤垛缓顶”结合法新工艺,能将采空区悬顶安全放下。 相似文献
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本文简述了高瓦斯矿井多顺槽工作面煤柱设计的现状及存在的问题,通过分析研究,指出煤柱设计时不只是以能保证煤柱在工作面回来期间不破坏为主要设计依据,同时应考虑煤柱将来回收问题,以确保所留煤柱方便今后的回收。 相似文献