SiO2/Ta界面反应及其对铜扩散的影响

利用磁控溅射方法在表面有SiO2层的Si基片上溅射Ta/NiFe薄膜,采用X射线光电子能谱(XPS)研究了SiO2/Ta界面以及Ta5Si3标准样品,并进行计算机谱图拟合分析.实验结果表明在制备态下在SiO2/Ta界面处发生了热力学上有利的化学反应:37Ta+15SiO2=5Ta5Si3+6Ta2O5,界面处形成更稳定的化合物新相Ta5Si3、Ta2O5.在采用Ta作阻挡层的ULSI铜互连结构中这些反应产物可能有利于对Cu扩散的阻挡.     

花园中的轮椅

这个花园是表达了可达性和受限活动性，里面摆设着6张轮椅供游客使用，小径则设置有斜坡和平台。     

卢平矿的“Pit Stop”预防维修制度

在不断要求增产的压力下,矿山经理们似乎往往都期望自己的设备能以与Indy500赛车场的一级方程式赛车相同的速度运行,但是即使那些高性能赛车也有偶然的中途停     

纤维水镁石及其应用前景

多年来纤维水镁石被误认为石棉(或水镁石石棉),近年来随着对石棉的恐惧和为纤维水镁石正名之后,给纤维水镁石带来了空前销售势态。本文就纤维水镁石与石棉物化性能相近的介绍,进而证明它是石棉矿物理想的代用品;此外,通过对纤维水镁石市场的分析,证明开发纤维水镁石具有广阔的前景。     

加筋土挡墙在桥台接坡中的应用

本文介绍了加筋土挡墙的工作机理,阐述了桥台接坡双侧挡土墙的设计方法,并通过实际工程验证,能对今后类似工程提供借鉴。     

电子束直写邻近效应校正技术

通过蒙特卡罗模拟方法研究电子散射过程，探讨邻近效应产生机理并寻求有效的邻近效应校正途径。实验结果表明：邻近效应现象是一种综合效应，可以通过优化工艺条件有效地抑制邻近效应的影响，使邻近效应校正达到预期的效果。     

亚洲3G发展走势

cdma2000暂时领先W-CDMA从全球来看,3G发展并不平衡。原来的3G领头羊——欧洲的W-CDMA商用步伐较为缓慢,而地处亚洲的日本和韩国已成为世界上提供3G业务最积极的国家。表1显示了亚洲地区的3G业务商用情况。日本拥有1.26亿人口。到今年3月,日本移动电话用户达到7566万(加上PHS用户,总共为8110万),普及率达60%,共有NTTDoCoMo、J-Phone和KDDI三家运营商。世界上最早推出3G业务的是NTT DoCoMo,采用W-CDMA标准。然而,NTT DoCoMo当初推出3G服务时并不尽如人意,主要问题是网络覆盖范围小而分散,且连接不稳定、手机常有故障、电…