CuO-ZnO异质结气体传感器的敏感性能

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高深宽比的TSV镀铜工艺技术研究

镀铜填充时,形成空洞或缝隙都将导致芯片严重的可靠性问题,从设备能力和电镀药液两个方面分析了对镀铜填充效果的影响,并在孔径10μm、深宽比10∶1的硅通孔内进行工艺验证。结果表明：镀前预湿处理、镀液快速搅拌、电场均匀分布、镀液添加剂的浓度及配比等4个方面对实现硅通孔无缺陷填充起了决定性作用。     

基于GPRS的汽车道路试验远程监控系统

为满足燃料电池汽车道路考核试验远程数据传输的要求,开发了基于GPRS通讯网络的远程数据监控系统,采用嵌入式PC和GPRS调制解调器设计了系统硬件,采用虚拟仪器开发平台开发了车载单元软件和监控中心软件,车载数据采集单元能够实时采集GPS模块和整车CAN网络数据,并通过GPRS模块将汽车运行的关键参数发送到监控中心,实现了燃料电池汽车道路试验的数据采集和远程监控,实际应用情况表明系统工作可靠。     

热氧化SiO_2工艺在硅太阳电池中的应用及研究

采用热氧化法在晶体硅基底上生长SiO_2薄膜,研究了不同厚度的SiO_2氧化层对少子寿命(MCL)、光学吸收及与SiNx体钝化的影响;同时通过理论计算匹配相应的SiO_2/Si Nx叠层膜,得出SiO_2层厚度大约为10 nm,Si Nx膜的理论厚度在60~70 nm之间,折射率在2.1~2.2之间。研究发现SiO_2/Si Nx叠层膜工艺比常规Si Nx工艺太阳电池的能量转换效率(Eta)提升了0.12%,开路电压(Uoc)提高了2 mV,短路电流(Isc)提高了40 m A。     

微孔缺陷对晶硅太阳电池性能的影响研究

铸锭晶硅材料的微孔缺陷,是影响太阳电池光电转换性能的重要因素。本文对晶硅材料的微孔缺陷在电池工艺中的形态变化进行了研究,试验结果证实,该微孔缺陷是导致电池并联电阻降低的主要原因。本文利用透光测试技术分析了晶片中的微孔缺陷,结合激光扫描共聚焦显微(LSCM)技术对漏电区域的形貌进行分析研究,实验结果表明,微孔缺陷与电极重合将导致表面金属浆料的塌陷,是形成电池漏电的主要原因。     

皮带输送机急停信号系统的应用

介绍了皮带输送机急停信号系统的组成和工作原理,通过使用可有效地实现输送机远距离停机和信号传送。     

金属材料室温拉伸试验影响因素分析

为提高金属室温拉伸试验数据的准确度,对拉伸试验中的各种影响因素进行试验分析。试验结果表明,试样、测量工具、试验设备、试样夹持方法、试验机拉伸速率、试验室温度、试验人员等因素对拉伸试验的结果影响较大。制定出具有针对性的方法和措施,在一定程度上减小了试验数据误差,提高了试验结果准确度。     

硅片图形电铸镍工艺研究

电铸能制造某些难以用机械加工方法制造的特殊形状的微型结构,对于硅片图形电铸镍工艺只需设计合理的电铸图形,即可实现零件的精密成型制造.在对硅片图形电铸镍工艺和设备结构研究的基础上,提出了电铸液组分、工铸条件、电铸夹具以及电铸槽结构等设计要求,以满足电铸镍层的均匀性要求.通过实验对电铸镍层的均匀性进行了验证,符合了硅片图形...