RF磁控溅射制备钛酸锶钡BST纳米薄膜

钛酸锶钡(BST)薄膜作为一种高K介质材料在微电子和微机电系统等领域具有广阔的应用前景,人们已对BST薄膜的制备工艺技术和介电性能进行了大量的研究。BST纳米薄膜的制备工艺直接影响和决定着薄膜的介电性能(介电常数、漏电流密度、介电强度等)。对RF磁控反应溅射制备BST纳米薄膜的工艺技术进行了综述。从溅射靶的制备、溅射工艺参数的优化、热处理、薄膜组分的控制,及制备工艺对介电性能的影响等方面,对现有研究成果进行了较全面的总结。     

连续型衍射透镜激光直写技术研究

研究了不同于台阶形式的具有连续浮雕结构的衍射聚光透镜的激光直写工艺,简要描述了光致抗蚀剂的曝光和显影,对激光直写工艺的机理和工艺过程进行阐述.利用CLWS-300W/C极坐标激光直写设备制作出了具有良好面形微结构和较高衍射效率的连续型衍射透镜.研究表明,激光直写技术直写精度高,加工工艺灵活,利用计算机的控制,能够根据光学设计产生的浮雕分布数据制作复杂的、任意形状和外形的微型浮雕结构,非常适合于高精度微光学元件的加工制作.     

扭臂式静电微驱动器的pulli-n现象分析

从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下pulli-n现象的产生条件,并给出公式化结果。讨论了器件的几何结构参数对于pulli-n现象的影响,并对具体结构的器件给出了pulli-n角度和pulli-n电压等方面的分析结果。对于特定的扭臂结构,pulli-n角度为悬臂梁最大扭转角度的44.04%,且与扭臂的结构参数无关。     

Optimal Spectral-Galerkin Methods Using Generalized Jacobi Polynomials

We extend the definition of the classical Jacobi polynomials withindexes α, β>−1 to allow α and/or β to be negative integers. We show that the generalized Jacobi polynomials, with indexes corresponding to the number of boundary conditions in a given partial differential equation, are the natural basis functions for the spectral approximation of this partial differential equation. Moreover, the use of generalized Jacobi polynomials leads to much simplified analysis, more precise error estimates and well conditioned algorithms.Mathematics subject classification 1991. 65N35, 65N22, 65F05, 35J05     

油藏演化的两个极端过程

油气藏形成之后，在地质务件变化不大的情况下，储集层中的油气一般保持相对的稳定。但当地质条件变化较大时，油气藏中则发生明显的蚀变。其中两个极端的演化过程，一是抬升破坏形成生物降解沥青，一是深埋发生原油裂解转化成焦沥青和天然气。生物降解沥青没有一定的形态．在显微镜下呈席状分布，沥青反射率低，抽提物具有明显的生物降解特征。原油裂解形成的焦沥青具有一定的几何形态，沥青反射率很高而无常规抽提物。原油裂解生成的天然气在组分和碳同位素特征上与干酪根裂解生成的天然气有别。图6参15     

数字化正弦平方脉冲信号

依据正弦平方脉冲的数学方程及其频谱分布，分别导出了与理想和标称视频带宽相对应的正弦平方脉冲的数学表达式及其编程生成方法。实验表明，此法不仅精确，而且便于修改参数，并可直接读人数字电视系统，来测定视频线性响应。     

辐射型漏泄同轴电缆的设计

总结了漏泄同轴电缆的理论研究现状。围绕使用频带和耦合损耗这两个重要电气参数，讨论辐射型漏泄同轴电缆的设计方法。基于周期性槽孔结构的空间谐波的分析，讨论了抑制高次谐波以拓展使用频带的方法。利用时域有限差分方法和Matlab软件计算耦合损耗。     

大庆长垣以东地区深层天然气输导特征及成藏

大庆长垣以东地区深层天然气输导通道主要由断裂、不整合面和砂体构成。该区砂体横向分布不稳定，物性差，不是天然气侧向长距离运移的输导通道，但可以起到衔接输导作用。输导通道时该区天然气成藏与分布起到了重要控制作用，主要表现在断裂将天然气输导致上覆不同储集层中聚集成藏。不整合面和砂体将天然气输导到四周古隆起上聚集成藏。沿断裂输导的天然气形成以断层为主的构造气藏。沿不整合面和砂体输导的天然气形成以地层及岩性为主的气藏。沿断裂输导运移聚集的天然气在剖面上呈串多层分布，沿不整合面和砂体输导运移聚集的天然气在平面上呈环状分布。     

渤海湾盆地石油地质储量和产量增长趋势的预测

渤海湾盆地的石油地质储量发现过程具有明显的渐进性、阶段性和长期性，石油产量的增长也具有一定的起伏性，用一个周期的单旋回哈伯特模型难以预测其发展趋势。通过分析渤海湾盆地的勘探开发历程，结合新一轮常规油气资源评价的结果，分别采用4个和3个哈伯特旋回拟合石油地质储量发现和产量增长曲线。预测结果显示，2005-2015年渤海湾盆地处于石油地质储量发现高峰期，2015年左右其石油产量达到高峰，之后处于下降趋势。实践证明，利用多旋回哈伯特模型对具有“多峰”特征的石油地质储量和产量的未来趋势进行预测是一种有效的方法。     

大气状态下AFM阳极氧化加工Si的研究

Si纳米氧化线是构筑基于Si的纳米器件的基础。通过AFM针尖诱导阳极氧化加工的n型Si(100)的实验得到凸出的n型Si(100)氧化物高度和偏置电压成线性关系,与针尖扫描速度成负对数关系,并在前人的基础上深化了AFM针尖诱导氧化加工的机理和理论模型,得到了合适的加工条件为偏压8 V和扫描速度1μm/s。