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采用自行研制的LB自动提膜装置,制备出大面积(10×8cm2)、高质量的PMMA超薄抗蚀剂膜,并将其用于高分辨率铬掩模版的研制。通过电子束曝光,湿法蚀刻,制作了分辨率优于0.5μm,特征线宽0.38μm的4(100mm)铬掩模版。 相似文献
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目前,屋面工程,尤其是寒冷地区的屋面工程渗漏问题严重,其主要原因一是防水材料的质量问题;二是寒冷地区屋面防水设计、施工操作方面存在一些问题。 1 材料问题屋面工程技术规范(征求意见稿)中对防水材料耐久性指标要求明确规定:一般工程为10年以上,重要工程和特殊工程为15年和20年以上。近年来沥青、油毡的材质普遍降低,寒冷地区屋面防水工程问题更为严重,更应有相应的标准来检测、验收,把住质量关。而当前执行的不同档次的标准,既不够全面,也不够严密。对南北温差悬殊的我国来说,用一个标准来要求,本身就不科 相似文献
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钛与其合金的应用及钛的氢脆腐蚀与防护 总被引:3,自引:0,他引:3
介绍化工设备中常用的钛与钛合金的种类、性能,腐蚀机理及耐蚀特性;从氢含量,温度、环境、应力等因素入手,讨论氢脆腐蚀的机理,提出了降低钛材中的氢含量,提高钛合金中氢的固溶度,选择正确的热处理工艺,消除残余应力等措施防止氢脆。 相似文献
106.
107.
简述了7-12MeV能区由于有几种低能中子成分的存在给截面测量与评价带来困难,及低能中子的扣除方法,并给出了此能区几个反应道的测量结果,以图的形式与国际同行数据作了比较。又以^58Ni(n,p)^58Co反应为例,说明低能中子对T(d,n)^4He中子源的影响,还给出了^58Ni(n,p)反应的评价曲线。 相似文献
108.
选择20CrMo钢为母材,采用手工钨极氩弧焊工艺,对20CrMo、12Cr2MoWVTiB和10Cr3SiNiMoWV三种填充焊丝组成的四种焊缝进行试验研究。测定其焊接接头的性能表明,用20CrMo焊丝、20CrMo+12Cr2MOWVTiB组合焊丝施焊,焊后调质热处理后,焊接接头的抗拉强度达到D级杆要求的指标,后者的疲劳极限达到美国Norris公司生产的D级杆的水平,可以推广应用。 相似文献
109.
影响放顶煤开采的条件可概括为开采煤层赋存条件,煤层顶底板条件、地表塌陷及煤层的安全条件四个主要方面。 相似文献
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