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文章对采用了埋层二氧化硅抗总剂量加固工艺技术的SOI器件栅氧可靠性进行研究,比较了干法氧化和湿法氧化工艺的栅氧击穿电荷,干法氧化的栅氧质量劣于湿法氧化。采用更敏感的12.5nm干法氧化栅氧工艺条件,对比采用抗总剂量辐射加固工艺前后的栅氧可靠性。抗总剂量辐射加固工艺降低了栅氧的击穿电压和击穿时间。最后通过恒压法表征加固工艺的栅氧介质随时间击穿(TDDB)的可靠性,结果显示抗总剂量辐射加固工艺的12.5nm栅氧在常温5.5V工作电压下TDDB寿命远大于10年,满足SOI抗总剂量辐射加固工艺对栅氧可靠性的需求。 相似文献
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蒸汽凝结水的回收和利用不仅节能而且环保。回收凝结水可以节约软化水;回收二次蒸汽的热量可以减少因生产蒸汽而燃烧煤,进而减少硫化物和氮氧化物的排放。对北京方德精密化工设备有限公司为甘肃某卷烟厂设计的闭式凝结水回收系统进行经济效益计算,计算结果验证了该系统的节能效益。同时也为工业凝结水回收系统的设计、安装、管理等提供一定的参考。 相似文献
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断代是古建筑研究的基本问题,而历经多次修缮并更换构件是古代木构建筑保存的常态。现存的大量宋元明建筑中都包含多种时代特征的构件,尤其在江南地区,断代标准如何选取、年代分析方法如何建构是个重要课题。本文以虎丘二山门为案例,讨论了古代木构建筑年代与价值认知、年代研究方法、江南地区构件样本库等问题,以及对文物建筑保护实践的启示。着重讨论了类型学方法在实物年代分析方面的运用。 相似文献
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