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181.
ULSI多层Cu布线CMP中磨料的研究   总被引:1,自引:2,他引:1  
超大规模集成电路多层Cu布线平坦化中,抛光磨料是CMP系统的重要组成部分,是决定抛光速率、抛光表面状态和平坦化能力的重要影响因素.分析研究了在CMP中磨料的作用和影响,指出碱性的纳米级SiO2水溶胶是ULSI多层Cu布线CMP的理想磨料.并进一步通过对多层Cu布线CMP硅溶胶磨料的优化研究,指出采用小粒径、低粒径分散度、高质量分数的SiO2水溶胶磨料,可有效地解决平整度差、塌边、碟形坑、表面粗糙度差等问题,获得了良好的抛光效果.  相似文献   
182.
欧阳柳  孙薇  楼俏 《信息技术》2020,(4):159-163
用电信息采集是现代电网合理安全供电的前提,为了提高信息采集效果,以低压台区为背景,对用电信息采集技术进行研究。将Tpring、CmmC和Lybot框架集中整合,构建TCL管理框架;借助DBTLO服务配置模块缺口功能,对当前路径进行权值定义;根据权值比例划分当前电网信息采集配置等级,完成电气服务集中配置;根据TCL框架特征,对当前信息采集节点进行数据重构,设计个人中心模块,用于获取历史服务信息与当前数据信息,实现当前区域用电信息的采集。实验数据证明,应用当前采集技术以后,管理叠加负载降低14%,数据导出速度提高了30%,有效降低了延迟性。  相似文献   
183.
MC33289型驱动器在汽车制动系统中的应用   总被引:2,自引:0,他引:2  
随着汽车行驶速度的提高,道路行车密度的增大,对于汽车行驶安全性能的要求也越来越高.汽车的防抱死制动系统(ABS)就是在这种要求下产生和发展的.MC33289是Motorola公司推出的智能模拟电路中的高端驱动器.文中详细介绍它的功能,内部结构及工作原理,并给出它在汽车防抱死制动系统(ABS)中的应用.  相似文献   
184.
粮库智能化建设中仓储技术智能化是近年来粮食行业发展的重要趋势。推进仓储技术智能化,能够有效提高粮库管理效率和粮食储存质量,提高粮库的自动化、信息化和智能化水平,提升粮库设备数字化管控水平,并进一步降低能源消耗、提升粮食的品质,这也是保障国家粮食安全的重要举措之一。本文首先对粮库智能化建设和仓储技术智能化做了简要介绍,总结粮库智能化建设中仓储技术智能化发展的意义,进而剖析目前粮库智能化建设中有关仓储技术智能化还存在的问题,并结合工作实际,创新性提出改进对策,以期帮助粮食企业更好地利用智能化技术,提高粮食储存质量和管理效率,实现经济效益和社会效益双赢。  相似文献   
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