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热声传感器随着多孔硅的热致超声发射现象的发现越来越受到关注。热声传感器通过改变器件表面热量而在周围空气中产生交变压力,从而向外发出声波。热声传感器的关键器件是悬空金属薄膜。制备大面积悬空薄膜释放有一定的难度,需要考虑金属薄膜本身的应力与粘附效应。该文提出了两种基于各向同性干法刻蚀的制备金属薄膜的方法,利用XeF2/SF6制备悬空Al膜。由于XeF2与SF6气体刻蚀硅时对于Al有较高的选择比,XeF2对于硅是各向同性刻蚀且有很高的刻蚀速率,而通过设置感应耦合等离子体(ICP)刻蚀机的参数也可利用SF6达到各向同性刻蚀。基于上述特点制备了悬空Al膜,设计相应的制备流程,探索XeF2刻蚀机与ICP刻蚀机合适的刻蚀参数。所制备的悬空Al膜平整、无杂质,具有良好的形貌。 相似文献
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皂市水利枢纽大坝建基面选择与验证 总被引:1,自引:0,他引:1
皂市水利枢纽坝基岩体主要为石英细砂岩夹软弱夹层.软弱夹层性状由好至差依次分为软岩夹层、破碎夹层、破碎夹泥夹层、泥化夹层等4类.夹层分布连续性较差,多有尖灭、交错出现,局部呈透镜体状,受地下水及层间错动影响性状变化较大.以初设勘察资料为基础,依据坝基岩体风化状态、结构类型、岩体完整性、岩石强度、结构面形态与特征、岩体渗透性等具体指标对坝基岩体进行了工程地质分类,通过统计分析、量化数据确定了大坝建基面.施工开挖后与初设进行了对比,验证了初设阶段所确定的建基面准确,分析手段及方法有效、合理. 相似文献
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贵阳奥体中心主体育场罩篷钢结构预应力张拉施工仿真分析研究 总被引:1,自引:0,他引:1
应用MIDAS和ANSYS两种软件,对采用有索张拉和无索施加等效平衡荷载两种模型的贵阳奥体中心主体育场预应力大悬挑桁架结构,运用连续分析法和分步一次加载法两种计算方法,对施工全过程中结构力学响应进行了仿真分析。通过对比分析两种不同计算模型的拉索内力、结构杆件应力和结构变形的计算结果,证实一次加载法是安全的。通过对预应力张拉过程中索力与主体结构端部位移值两项关键技术指标的仿真计算结果与工程实测结果的分析对比,证实大悬挑桁架结构在上弦施加预应力是有效的。 相似文献
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