化学机械抛光液的研究进展

化学机械抛光（CMP）技术是集成电路制造中获得全局平坦化的一种重要手段,化学机械抛光液是影响抛光质量和抛光效率的关键因素之一,而抛光液中的磨粒和氧化剂决定了抛光液的各项化学机械抛光性能。将抛光液磨粒分为单一磨粒、混合磨粒以及复合磨粒,综述了近年来国内外化学机械抛光液磨粒发展现状,其中重点分析和总结了SiO2、Al2O3、CeO2三种单一磨粒,SiO2/Al2O3、SiO2/SiO2、SiO2/CeO2混合磨粒,CeO2@SiO2、PS@CeO2、PS@SiO2、sSiO2@mSiO2、PMMA@CeO2、PS@mSiO2等核-壳结构复合磨粒,Co、Cu、Fe、Ce、La、Zn、Mg、Ti、Nd等离子掺杂复合磨粒的研究和应用现状,并针对目前存在的问题进行了详细的分析。针对目前化学机械抛光液不同材料氧化剂（高锰酸钾和过氧化氢）的选择和使用进行了分析总结。此外,介绍了一种新型绿色环保抛光液的研究和使用情况,同时对化学机械抛光液存在的共性问题进行了总结,最后展望了化学机械抛光液未来的研究方向。     

一维调制结构的四维空间点阵

系统地描述了调制结构的一些基本概念，如卫星反射和主反射，基结构和平均结构。从假想的一维、二维调制结构出发，推导出高维晶胞的表示式，进而建立了四维空间点阵，并定性地说明了四维空间点阵的特性     

基于Auto CAD平台的数控铣床自动编程系统的开发

基于目前广泛使用的AutoCAD图形平台和CAD／CAM系统存在的问题，以及AutoCAD二次开发工具ObjectARX，分析AutoCAD二维图形自动编程系统的关键技术，重点介绍了用Polyline图形实体描述刀具轨迹，实现数控铣削的自动编程。为从CAD直接到CAM提供了一种有效的实用途径。     

基于CAM的STM和AFM的一种新型偏心升降装置研究

根据STM和AFM的扫描原理，通过CAM设计了一种新型偏心升降装置，使STM和AFM测试样品的高度大为增加，形成柔性测试系统。根据对实际工况的仿真研究，对装置进行了修改。     

一种基于随机森林的LOS/NLOS基站识别方法

蜂窝移动通信环境复杂多变,在基站和移动台之间不可避免会出现电波的非视距（Non-Line-of-Sight,NLOS）传播,使基站和移动台之间的距离测量误差显著增大,导致定位性能急剧下降。为了准确识别出视距（Line-of-Sight,LOS）与非视距传播的基站信号,提出了一种基于随机森林的LOS/NLOS基站识别方法,通过分析移动台与各基站接收机测量距离与定位误差之间的相关性,选择LOS/NLOS测量距离作为特征进行分类器训练,再将分类器用于LOS/NLOS基站的识别。仿真结果表明,该方法对NLOS基站的正确识别率达到90%以上,能取得较好的定位性能。     

层层自组装法制备超疏水/超亲油棉织物及其油水分离性能

被油污染的水资源严重影响人类健康和生态系统.为得到具有优异油水分离性能的材料,利用层层自组装法,在棉织物表面组装纳米银薄层,随后用十二烷基硫醇修饰,制备了具有超疏水/超亲油性能的棉织物.通过扫描电子显微镜、X射线衍射仪、接触角测试仪、分离效率表征超疏水/超亲油棉织物的微观形貌、表面化学组成、润湿性及油水分离性能.改性后的棉织物表面负载致密的纳米银薄层,水在该表面的接触角高达160°,而油的接触角为0°,显示出其良好的超疏水/超亲油性能;纳米银牢固地附着在棉织物的表面,使其表现出良好的抗磨损性、耐腐蚀性.油水分离测试显示,该棉织物对不同类型油品和水混合物的分离效率达88％以上,且具有较好的循环利用性.此外,该棉织物不仅能分离水上轻油、水下沉油,还能分离轻油-水-沉油三相所形成的混合物.     

微丝菌培养分离、特性标记及调控研究进展

污泥膨胀一直是困扰污水处理厂正常运行的一个世界性难题,而微丝菌是污泥丝状膨胀中的主要丝状菌,因此对微丝菌本质规律的研究不仅有利于认识微丝菌,也可提供诸多控制污泥丝状膨胀的方法。综述了微丝菌在培养分离、生理特性和影像识别以及调控等方面的研究进展,并对微丝菌的后续研究提出了建议和展望。     

机会网络中基于节点社会属性的转发算法

针对机会网络中的数据转发问题,提出一种基于节点社会属性的转发算法。该算法计算节点的陌生性、介数中心性和相似性,均衡利用多个节点的资源防止某些节点因资源消耗过快而退出网络,降低网络的连通性。仿真结果表明,与Epidemic、PROPHET及SW等算法相比,在保证较低传输延迟和较高传输成功率的基础上,通过减少节点间的转发次数,有效地降低了网络传输开销,从而提高数据交付率和减少延迟。     

基于DSP的在线式UPS锁相环设计

本文介绍了基于DSP芯片ADMC401的全数字UPS电源中数字锁相环的软，硬件条件和控制算法，分析了它的精确性和快速性。实际应用证明了数字锁相环比传统模拟锁相环具有优越性。     

基于STM的纳米测试技术及其在机械领域中的应用

STM是一种具有纳米级分辨率的精密显微镜.文章简述了STM的基本原理和扫描模式,并总结了国内外将STM应用于机械领域的研究工作,最后对其发展进行了展望.