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532.
为了研究基片的直边衍射效应对激光汇聚铬原子沉积特性的影响,利用半经典模型,采用改进后的设定恰当步长的4阶龙格-库塔算法,模拟了铬原子在直边衍射激光驻波场中的3维运动轨迹和3维沉积光栅结构,研究了衍射边与反射镜的距离、激光中轴线与基片表面的距离对激光汇聚原子沉积过程的影响。结果表明,基片摆放位置不同,沉积效果受到衍射效应的影响程度也随之改变;当衍射边到反射镜的距离为0.81cm、激光中轴线与基片表面的距离为0.01mm时,纳米光栅的半峰全宽最小,同时对比度最大。该研究成果为原子光刻实验提供了丰富的理论指导。 相似文献
533.
针对28nm浸没式扫描光刻机掩模台的光栅干涉仪位移测量系统,开展了系统热漂移研究,并进行了热漂移测试实验与结果分析。该位移测量系统采用外差对称式四细分的光路设计以及栅距为1μm的二维光栅,配合2048倍电子细分的相位计数卡,其系统分辨力达到了0.12nm。热漂移测试结果显示:该系统的热漂移X向为17.86nm/K,Y向为41.43nm/K。在光刻机掩模台的实际测量环境中,测量环境的温度波动稳定在5mK以内,此时系统的热漂移X向可以控制在0.09nm以内,Y向可以控制在0.21nm以内。实验数据表明系统的热漂移误差小于1nm,满足掩模台亚纳米位移测量精度需求。 相似文献
534.
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SCIATRAN是一种高光谱分辨率辐射传输模型,其参数丰富、调节性强,为反演CO2浓度提供更可靠的仿真资料。研究采用SCIATRAN模型模拟了不同气溶胶类型、气溶胶光学厚度以及地表类型的CO2辐射亮度,分析了不同条件下影响CO2辐射亮度的规律。研究结果表明:气溶胶类型对CO2辐射亮度的影响比例在8%以内。由于城市型气溶胶成分复杂,对CO2辐射亮度的影响比乡村型和海洋型气溶胶稍大;气溶胶光学厚度对CO2辐射亮度的影响比例在-3.52%~42.97%之间,光学厚度越小,CO2辐射亮度则越大;地表类型对CO2辐射亮度影响最大,与参考值差值比例最高达166.43%,且CO2辐射亮度随地表反照率的增强而增强。该研究还通过仿真信号与实测信号的对比,验证了SCIATRAN模型仿真信号的有效性和可行性。 相似文献
536.
为了研究基片衍射对激光汇聚原子沉积的影响,基于标量光学衍射理论,采用数值计算对比分析了基片衍射与否两种情况下,铬原子波包几率密度分布(表征了沉积条纹)特征值随原子波包速率的变化。结果表明,当原子波包横向速率保持不变、而纵向最可几速率在考察范围内变化时,基片衍射会使波包几率分布的最大值平均约有14.9%的增加量,而半峰全宽平均约有14.3%的减小量;当原子波包纵向最可几速率保持不变、而横向速率在考察范围内变化时,基片衍射会使波包几率密度分布的最大值平均约有14.5%的增加量,而半峰全宽平均约有16.9%的减小量。该研究成果为实验提供了有益的理论指导。 相似文献
537.
根据当前高校教育改革趋势,提出建设开放式分析测试实验室的意义及建设开放式实验室的具体措施、运行和管理制度,为如何建设开放式实验室提供了一定的参考。 相似文献
538.
直流配电系统中电源或者负荷大多通过DC变换器接入系统,其负阻尼特性会导致系统振荡甚至诱发失稳,直流配电系统的稳定性面临着越来越多的挑战。基于动态导纳建模方法,建立了含多台DC换流器的直流配电系统小扰动稳定模型。基于奈奎斯特稳定判据,分析了并联DC台数、直流配电线路等因素对稳定性的影响。提出了基于虚拟惯量的DC换流器分散控制策略,在不改变平衡运行点的基础上,有效提高了多DC换流器并联的稳定性。最后通过时域仿真验证了所提策略的有效性和正确性。 相似文献
539.
基于桥区的场景特点,提出一种基于自适应纹理特征的运动船舶目标检测跟踪算法。算法采用基于改进的局部二值模式(LBP)纹理特征取代亮度特征,在此基础上建立可实时更新的LBP背景,以背景模型方法提取船舶运动目标前景,并以简单的近邻方法实现对其跟踪。实验表明该方法通过目标检测与跟踪可实现对船舶运动的监控,算法准确性好,精度高,可为桥梁安全保护提供有效的技术支撑。 相似文献
540.
提出了一种针对投入和切除电容器扰动的识别、定位和确定是否发生机械故障的新方法。其它此类方法多对从扰动开始到扰动结束时的短暂的扰动时间内进行分析,这使得其受某些复杂因素的影响较大,比如瞬时电弧、低压投入时的弱信号、复杂信号等。此方法利用了投切电容器扰动独有的特点,对扰动开始前的稳态和扰动结束后的稳态进行分析,所以受这些复杂因素的影响较小。此方法原理可靠准确,计算简单,可信度得到很大提高。经仿真验证,新方法显示了它的高可信度和准确性。 相似文献