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11.
化学机械抛光过程抛光液作用的研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
化学机械抛光(CMP)已成为公认的纳米级全局平坦化精密超精密加工技术。抛光液在CMP过程中发挥着重要作用。介绍了CMP过程中抛光液的作用的研究进展,综合归纳了抛光液中各组分的作用,为抛光液的研制和优化原则的制定提供了参考依据。 相似文献
12.
鉴于不锈钢化学机械抛光的复杂环境,研究了其抛光过程中温度的变化规律。设计并搭建了过程温度在线检测系统,检测并研究了不同工艺参数与温度之间的关系。实验结果表明:抛光温度随着抛光压力和抛光垫转速的增大而增大,随着抛光液流量的增大而减小。不锈钢基板边缘点抛光温度高于中心点抛光温度,聚氨酯材料比合成革和磨砂革材料的温升更大。当抛光垫加沟槽时,温升将明显下降,且径向型与周向型沟槽温度变化相差不大,网格型沟槽温差变化最小。抛光垫沟槽间距增大,温升增大;沟槽宽度对温升影响较小。 相似文献
13.
14.
乘用汽车传动轴中的三脚突缘是一种形状较复杂的零件,在端部面有三个分叉枝和凸台,其成形难度大,对成形工艺要求高。根据三脚突缘锻件的特点,采用一种半封闭挤压代替传统的预锻工艺,利用有限元数值模拟软件DEFORM-3D模拟了半封闭挤压成形和终锻成形过程,获得了相应的载荷—行程曲线、等效应变和等效应力分布规律,并做了相应的模具应力分析。另外,由于锻件所在模具型腔较浅,切边定位困难,为了避免切边时产生错位和变形,将切边、整形工序设计成一套复合模。最后通过小批量试验,验证了三脚突缘成形新工艺的可行性。 相似文献
15.
16.
对微观孔隙结构及储层非均质性的研究,国内外已有大量报道,提出了多种参数,如孔隙度、孔喉比、孔喉配位数等,用统计学方法给出孔隙结构分布的平均特性或分布趋势。为研究孔隙度与渗透率、含油气饱和度及采收率之间的关系,提出了描述孔渗分布非均匀性的参数,如孔渗参数的变异系数,但这些参数仍有一定的局限性。如相同孔隙度但不同孔隙结构的地层,渗透率表现出巨大差异,从而影响油气充注,造成不同的含油气性。对储层孔隙结构的非均质性研究,大多采用薄片及压汞等经典微观结构研究方法,而对复杂孔隙结构及尖灭等突变特征用经典的欧氏几何学微观方法已难以适用。 相似文献
17.
18.
外加直流电腐蚀钢筋引起混凝土破坏机理的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
依据地下铁道杂散电流引起金属电化学腐蚀的基本原理,给出了钢筋混凝土中钢筋在外加直流电腐蚀下,其腐蚀产物的计算表达式,同时分析了混凝土在腐蚀应力作用下的破裂方式及其发生破裂的最短时间 相似文献
19.
本文应用 Tang—Toennies 势模型计算了 H—H_2相互作用势,并在此基础上用物理力学方法计算了氢原子在氢分子中的扩散系数和粘滞系数.所得结果与实验值极其它理论相比较,更接近于实验值。最后从原子与分子物理学的观点出发,对其结果提出理论解释. 相似文献
20.
原子—分子物理中关于慢电子散射的研究,可为多种不同的物理分支如大气物理、气体激光器的设计、天体物理和受控核聚变的研究提供大量可靠的数据。一九五七年第一颗人造地球卫星上天开始的空间技术大突破,对原子碰撞提出新的要求。慢电子—原子碰撞一直是国际上十分重要的研究方向。研究高温气体中电子被原子的散射也是十分重要的。过去许多人从事这方面的计算,但是由于采用过于简单的近似处理方法,一般都得不到好的结果,理论计算与实验结果相差很大。因此,必须采取比较 相似文献