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利用简易合金靶在Si(100)衬底磁控溅射制备Cu、Cu-1.19%Cr和Cu-2.18%Cr薄膜,研究Cr对Cu薄膜在300~500 ℃真空退火前后的结构和电阻率的影响.X射线衍射分析表明Cu及Cu(Cr)薄膜均呈现Cu(111) 和Cu(200)衍射峰,并且Cu(Cr)薄膜一直保持较强的(111)织构.原子力显微分析表明Cu薄膜在500 ℃退火时,薄膜与硅基底发生明显的互扩散,薄膜表面的致密度及平整度下降;而Cu(Cr)薄膜在退火时保持较高的致密度,Cr显著提高Cu/Si薄膜体系的热稳定性.Cu(Cr)薄膜的电阻率随温度升高先减小而后增加,在400 ℃及500 ℃退火30 min后分别达到最小值2.76 Μω.cm和2.97 μΩ.cm,与纯Cu膜相近(2.55 μΩ.cm).Cu(Cr)薄膜退火电阻率的大幅度减小与薄膜晶粒尺寸的增加以及Cr的扩散有关.适量的Cr掺杂和合理的退火工艺使得Cu(Cr)合金薄膜在高温互连材料方面具有很大的应用前景. 相似文献
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孔口封闭工法注浆是一种非常成熟的注浆治理工法,主要适用于水利水电工程中的大坝、水库注浆,在煤矿采煤治理采空区工作中也有一定的应用,但是如何充填露天煤矿的采空区却很少见。原来的充填注浆采空区治理技术,主要采取自上而下或自下而上的工法。这些工法存在一些弊端,主要是耗时长、效率低,严重影响工期。孔口封闭工法同样是充填式注浆,但其采取了一些关键技术,解决了自上而下方法中绕塞泛浆的难题,同时依靠重复注浆,提高了上部注浆段的施工质量。中国阜新百年国际赛道城一期采空沉陷区采取了孔口封闭工法注浆,开创了露天煤矿治理采空区的先例。该工法治理速度快、效率高,2个月治理2万m2采空区,为后续建筑施工提供了必要条件。 相似文献
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Ni-P非晶薄膜晶化相与相变动力学的XRD分析 总被引:1,自引:0,他引:1
用原位XRD技术分析了连续加热过程中电沉积Ni-P薄膜晶化与相变行为.通过定量分析,确定出不同温度下各相的析出量,由此计算出各相的晶化与相变激活能以及晶化结晶度.结果表明, Ni-P非晶薄膜的晶化与相变行为与薄膜中P的含量有关.在晶化过程中出现了四种亚稳相即NiP,Ni2P,Ni12P5及Ni5P2.计算得到:亚稳相NiP,Ni2P及稳定相Ni3P的相变激活能分别为133±15,172±19及190±20 kJ/mol;单个析出相的相变激活能低于Ni-P合金晶化激活能和Ni原子的自扩散激活能. 相似文献
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北京地区窗户节能优化的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
建立通过建筑物含有空气间层的窗户的传热模型,定量分析了几种常见外窗的保温性能,并探讨了北京地区提高窗户保温性能的途径。 相似文献
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我厂生产两种混纺纤维品种,T/C 65/35 13tex 以及 V/C 50/50 28tex 和 V/C 50/5018tex。经较长时间实践,认为按 GB2910—82《二组分纤维混纺产品定量化学分析方法》每周试验一次,易产生误差,而且速度慢。为此,我们对 GB2910—82进行了分析试验和探讨。国家标准的棉与涤纶(维纶与棉)纤维混纺产品含量分析操作方法不足之处在于:1 冲洗时间长,试验速度慢,工作量大。2 纤维从烧瓶到滤埚反复操作二十多次,纤维易失落。3 每次冲洗都要用玻璃棒不断搅拌,纤维易损失。 相似文献
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四川省造纸工业废水污染现状分析及防治对策 总被引:2,自引:0,他引:2
为贯彻落实省委七届七次全会的精神,促进四川省经济追赶型、跨越式发展目标的实现,防治水污染,保护水资源是实施四川省可持续发展战略的重要条件之一。岷、沱、嘉陵江是流经四川省的重要河流,又是长江上游的主要支流,防治岷、沱、嘉陵江流域水质污染不仅关系到流域经济的追赶型飞跨越式发展目标的实现,而且还关系到长江上游四川段出境水质能否在国家规定期限内,即2005年和2010年分别稳定达到地面水环境质量III类和Ⅱ类标准。“九五”期间,岷、沱、嘉陵江的水污染防治工作在全省上下的共同努力下取得了阶段性的成果,但其水环境质量总体还只… 相似文献
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