Material properties and effective work function of reactive sputtered TaN gate electrodes

The resistivity,crystalline structure and effective work function（EWF） of reactive sputtered TaN has been investigated.As-deposited TaN films have an fcc structure.After post-metal annealing（PMA） at 900℃,the TaN films deposited with a N₂ flow rate greater than 6.5 sccm keep their fee structure,while the films deposited with a N₂ flow rate lower than 6.25 seem exhibit a microstructure change.The flatband voltages of gate stacks with TaN films as gate electrodes on SiO₂ and HfO₂ are also measured.It is concluded that a dipole is formed at the dielectric-TaN interface and its contribution to the EWF of TaN changes with the Ta/N ratio in TaN,the underneath dielectric layer and the PMA conditions.     

浅析OTN技术与电力通信

随着我国经济的快速发展,国内信息传递的需求越来越大,尤其是在大容量信息高速传递领域更是供需矛盾突出。文章从电力通信系统对光通讯网络的要求出发,结合电力通信系统建设中的实际,对OTN技术与电力通信技术进行深入的研究和探讨。     

分散剂对石墨烯水泥基复合材料压敏性能的影响研究

石墨烯能显著改善水泥基复合材料的压敏性能,而分散剂是影响石墨烯分散以及复合材料性能的关键因素。本文通过紫外分光光度仪、超景深显微镜、激光粒度仪及Zeta电位测试,研究了聚羧酸减水剂(PCE)、聚氧乙烯(20)山梨醇酐单月桂酸酯(TW-20)、十二烷基磺酸钠(SDS)、十二烷基苯磺酸钠(SDBS)4种分散剂对石墨烯分散性能的影响,并通过直流二电极、直流四电极和交流二电极测试研究了4种分散剂对石墨烯水泥基复合材料导电性能和压敏性能的影响。结果表明:在去离子水和水泥孔溶液中,PCE由于静电斥力和空间位阻的协同作用,对石墨烯具有良好的分散性;而在水泥孔溶液中,TW-20、SDS、SDBS与Ca²⁺之间的络合作用导致分散效率显著下降。石墨烯水泥基复合材料的导电和压敏性能与石墨烯在水泥基体中的分散性密切相关,掺PCE的石墨烯水泥基复合材料的电阻率最小,压敏性能最优。另外,SDS、SDBS的引气作用也会影响水泥基体的孔结构,导致电阻率增大,压敏性变差。     

Chiplet技术研究与展望

近年来,摩尔定律的脚步放缓,先进工艺下的芯片制造成本越来越高,如何在合理成本控制下,保持原来的发展步伐成为半导体产业面临的重要问题,Chiplet技术作为一种可以延续摩尔定律的解决方案受到行业重视,但其广泛使用还存在诸多的问题.本文从Chiplet技术的集成、互连和设计流程等角度分析其特点和面临的挑战.首先,比较当前不...     

超临界流体干燥法制备钡铁氧体超细粉末──Ⅱ.红外吸收光谱的研究

对钡铁氧体的水凝胶、醇凝胶以及气凝胶的红外光谱进行了初步的观察，同时对不同焙烧温度及时间所得粉末的红外吸收光谱进行了考察。联系X-射线衍射结果，对钡铁氧体粉末的形成过程有了更进一步的认识。     

电火花加工法刃磨PCD刀具

由于PCD非常耐磨,PCD刀具本身的加工相当困难。以前的研究工作多集中在各种牌号PCD的可加工性方面。这里介绍的是英国De Beers公司的研究人员以油作磨削液,在日本Sodick CNC 电火花加工机床上对PCD刀具进行刃磨研究的成果。PCD中的导电成份是钻相,金刚石本身并不导电。粒度较细的PCD中的钻粉分布均匀,放电加工进行得更迅速、稳定。本文着重研究了De Beers的标准产品002和特殊产品CTC 002的刃磨参数及刃磨     

超临界流体干燥法制备MnZn铁氧体超细粉末：I.制备参数对粉末织？…

本文采用胶体－超临界流体干燥法制得超细ＭｎＺｎ铁氧体粉末，通过Ｘ－射线衍射技术和比表面的测定等以粉末的结构参数进行测定。其中主要考察了Ｍｎ，Ｚｎ含量，ｐＨ值，溶液浓度以及超临界流体干燥参数（温度，时间和压力等）对粉末织构的影响，并对各种凝胶粉末的织构进行了比较。     

SO_4~（2－）／ZrO_2超强酸催化剂的结构表征

用ＢＥＴ法分析了制备条件对ＳＯ＿４￣（２－）／ＺｒＯ＿２超强酸催化剂的比表面和孔结构的影响，用ＳＥＭ观察了催化剂的表面形貌。结果表明，引人ＳＯ＿４￣（２－）后催化剂的比表面和比表面的热稳定性都增大了，在Ｈ＿２ＳＯ＿４浓度为１．０ｍｏｌ／１和焙烧温度约７７３Ｋ时催化剂的比表面较大。制备Ｚｒ（ＯＨ）＿４时用浓氨水得到的催化剂的比表面、平均孔径和孔体积都较大。ＳＯ＿４￣（２－）／ＺｒＯ＿２催化剂的孔为平均孔径３－５ｎｍ的中孔。ＳＥＭ结果表明，ＳＯ＿４￣（２－）／ＺｒＯ＿２催化剂的表面为很不平整的蜂窝状。     

迭加态场中的压缩效应和光场强度增强

迭加原理是量子力学的重要原理之一,其在降低场量量子化噪声方面的作用正愈来愈引起广泛注意,理论上也提出了各种方案以产生迭加态,因此深入研究迭加态光场的量子统计性质不乏实际意义。 由于目前实验中产生的压缩态光场的强度一般都比较弱,寻求增强压缩态光场的压缩效应和场强度就成为一个很有意义的研究课题,考虑到实际中的光学测量是待测光场与本