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电容式微机械超声阵列(CMUT)是微机电系统(MEMS)气体传感器的常用结构之一。为了在尽可能降低功耗的前提下,提高气体传感器的灵敏度,对电容式微机械超声阵列尺寸进行优化。首先基于一阶集总电机械振动模型进行理论分析,发现其灵敏度与塌陷电压成正相关,并主要受振膜厚度、电极间距和电极半径影响,以此为依据设计符合要求的参数。然后使用COMSOL多物理场仿真软件,综合结构特点、空气阻尼、外接电路、弹性软化等因素的影响,提出一种更接近实际的有限元模型。将理论分析结果代入,对尺寸参数进行进一步优化,得到塌陷电压11.3 V,灵敏度-3.253×1017 Hz/kg,共振频率4.858 MHz,品质因数121.45的电容式微机械超声阵列。 相似文献
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从粘胶纤维的原料、工艺技术与设备、产品质量和品种以及清洁生产、"三废"治理方面,谈如何提高我国粘胶纤维工业的竞争能力及维持可持续发展。 相似文献
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并购贷款在封存12年之后重新开闸,将缓解我国石油企业海外收购的资金压力,但如何防范并购风险,也成为油企海外扩张面临的难题之一。 相似文献
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简要介绍演马庄煤矿井下排水系统采用IFIX组态软件对监控系统进行设计,叙述组态软件-IFIX为操作者提供可视化监控画面,有利于操作者现场进行实时监控与操作。充分利用IFIX组态软件的强大的图形编辑功能,可靠的安全性,以及它的集成发展环境就是我们现在普遍使用的windows操作系统等优点便于操作者能够方便快捷地构成监控画面,并以动画方式显示各个设备的状态以及信号,具有故障提示、报警窗口、实时历史趋势曲线等,也可便利的生成各种报表。还具备和其它组态软件相互集成进行通讯的优点。 相似文献
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