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91.
孔缝双桥结构高性能压阻式加速度传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
针对装备智能化与监测系统无线化发展对振动传感器的要求,基于微机电系统和应力集中技术,提出并研制一种具有孔缝双桥结构的高灵敏度、高固有频率的压阻式微型加速度传感器。结合理论分析与数值计算方法,分析该结构的特性,通过研究孔缝尺寸对传感器性能的影响确定传感器敏感结构尺寸。传感器芯片采用微细加工工艺制作,并在简单的封装之后进行静态、动态性能测试。试验结果表明,孔缝双桥结构加速度传感器在3 V供电电压下,灵敏度可达到0.424 mV/g,相对传统双桥结构提高了60%以上,而测得的固有频率相对于传统双桥结构仅略有下降,仍在10 kHz以上。孔缝双桥结构加速度计通过引入应力集中孔缝,以较小的固有频率损失,明显提高了传感器的测量灵敏度,具有更为优良的综合性能。 相似文献
92.
本文评述了费托合成用的BCSR在水力学、相际传递过程、动力学和反应器数学模型等方面的研究现状和问题,并推荐了对若干反应器设计有用的工程数据和关联式。 相似文献
93.
一种基于微弯效应的光纤液位传感器的研制 总被引:2,自引:1,他引:1
研制了一种用于测量储油罐油位的光纤传感系统,介绍了完整的研制过程。传感头是利用光纤的微弯效应制成的压力传感器,用耐油铝塑管对光纤和传感头进行封装。样机实测显示,最大非线性度为2.9%,灵敏度为14.5mV/l0.8mV/kPa。本系统结构简单,成本低廉,非常适用于要求防燃、防爆和耐腐蚀等场合的液位测量。 相似文献
94.
95.
目的 对某基准平台调平单元的性能检测方法进行了论述,提出了调平单元在线测试的方案、方法。方法 采用信号仿真、静态和动态测试及单片机测控等技术,实现了调平单元的在线测试及故障诊断。结果与结论 该方案切实可行,能满足调平单元的技术保障需求。 相似文献
96.
97.
固定床费托(FT)合成单颗粒催化剂模拟 总被引:4,自引:2,他引:2
对费托合成复杂反应体系的单颗粒催化剂进行了基于详细动力学的模型化和模拟。在模型建立中,用状态方程关联了多组分气相主体在催化剂孔道中蜡的溶解平衡,同时探讨了在被蜡填充的催化剂颗粒的孔道中的主要反应行为,初步考察了颗粒内扩散-反应在不同操作温度和压力下的匹配规律。 相似文献
98.
99.
为满足三维微力测量的需求,以MEMS体硅压阻工艺技术为基础,研制了一种基于微探针形式,具有μN级三维微力测量和传感能力的半导体压阻式三维微力硅微集成传感器。传感器采用相互迟滞的4个单端固支硅悬臂梁,支撑中间的与微力学探针结合在一起的质量悬块的结构形式,在4mm×4mm的硅基半导体芯片上用MEMS体硅工艺集成而成。通过ANSYS数值仿真的方法分析了三维硅微力传感器结构的应力特点,解决了三维微力之间的相互干扰问题,并对传感器性能进行了测试。结果表明,其X、Z方向的线性灵敏度分别为0.1682、0.0106mV/μN,最大非线性度分别为0.19%FS和1.1%FS。该传感器具有高灵敏度、高可靠性、小体积、低成本等特点。 相似文献
100.
∶南塔河1号水电站径流设计时,由于该流域无长系列实测水文资料,坝址径流采用水文比拟法以临近南康河流域Ban Mixay水文站资料推求,并收集大量资料,从流域面积、降雨量、设计径流深等多方面着手,分析论证径流设计成果的合理性。 相似文献