半导体设备真空与检漏

基于实际应用,介绍了半导体设备真空结构和真空室常用部件,讲述了He质谱检漏仪的使用方法.总结了真空检漏的经验,阐述了微漏难检的现状.分析了磁控溅射台和ICP真空故障,采用静压检漏法和He质谱检漏仪检漏法,给出了零部件微漏导致这些设备抽不上高真空的结论.指出今后的发展方向是真空部件小型化,以及根据设备特点来提高真空部件的可靠性.结果表明,先排除干扰因素,再细心检漏,可大大提高检漏效率,使设备尽快恢复正常.     

BaCO3基低温共烧陶瓷基板工艺及性能分析

对用于封装的BaCO3基低温共烧陶瓷基板LTCC材料进行了研究,包括组分配制以及陶瓷制备工艺研究。对烧结后陶瓷的部分热性能以及力学性能进行了测试。结果表明:BaCO3基低温共烧陶瓷较为致密的密度在3.8～4.2g/cm3,在900℃烧结的陶瓷机械形变较小。     

炮兵弹药动态消耗规律

应用系统动力学方法建立了基于兰切斯特平方律方程的弹药消耗SD模型,为了宏观认识炮兵弹药消耗规律,选用不同策略对模型参数进行了调整,并在Vensim平台上进行了仿真实验,得出了弹药消耗随兵力、损耗系数变化的关系和规律。实践证明,该方法研究弹药消耗规律,实用性强、可行性好,能够为指挥员科学决策提供有力的方法支撑。     

实时远程控制的多机灭火协同作业关键技术

为应对生产和生活中出现的各种突发火情,提出通过利用红外探测捕捉火源特征并联动多台自动控制的消防器械进行协同灭火的技术,通过来自于监控机位的红外传感器获取火源位置和火势信息,并结合物联网上传到控制终端调动相应的智能灭火器械进行协同作业。在无人值守的情况下,通过远程控制手段实时监控环境信息,实现低程度火情的早期扑灭,对于提升消防安全,保障生产生活安全有十分重要的实用意义。     

基于拉曼散射原理的分布式光纤测温系统研究

在研究拉曼散射原理及其应用技术的基础上,开发了一种分布式结构的光纤测温系统。通过对光纤的拉曼散射光谱信息进行解调处理,实现了全光纤的分布式温度检测。系统达到的温度分辨率为0.3℃,空间分辨率为3m,最大测量距离为6 000m。相关的实验室和野外试验结果表明,该系统的主要性能指标能够满足实际工程的使用要求。     

基于SDN和NFV技术的新型电力CDN

电力CDN在智能电网发展及电力信息网应用扩展过程中扮演着网络加速、流量负载、安全防护的重要角色,同时,业务需求对其灵活布置也提出了更高的要求。此外,电力CDN加速节点的扩容面临着运维复杂、资源利用率低的问题。传统的电力CDN架构亟待改革,而能够支撑电力CDN改革需求的是SDN和NFV技术。SDN技术将业务控制从网络数据和传送中抽取出来,更有利于多种业务的快速扩展以及对CDN节点的集中管控。而NFV能基于业务发展对CDN节点进行扩容和资源调度,大大减少资本支出、运营成本、空间和功耗。     

快速热处理对PECVD氮化硅薄膜性能的影响

利用PECVD在硅片上沉积了氮化硅(SiNx)薄膜,将沉积膜后的样品放在N2气氛中进行快速热处理(RTP),研究了不同快速热处理对PECVD氮化硅薄膜件能的影响.采用原子力显微镜(AFM)检测薄膜的表面形貌,利用椭圆偏振仪测量样品膜厚和折射率,利用准稳态光电导衰减法(QSSPCD)测鼋样品的少子寿命.实验结果表明随着RTP温度的升高,薄膜厚度迅速减小,折射率迅速增大;低于500℃热处理时,少子寿命基本不变;高于500℃热处理时,随着温度的升高,少子寿命急剧下降.氮化硅薄膜经热处理后反射率基本不变.     

基于多元探测的机载激光测距性能分析

对多元探测的灵敏度模型进行研究,结合探测信噪比、探测概率和虚警率等推导建立了该模型,并进行实验验证,证明了该模型的准确性.在此基础上,仿真分析不同探测条件下,APD单元数、脉冲累加次数、填充因子和死时间对探测灵敏度的影响,为多元APD的选型提供理论依据.结果显示,脉冲累加次数为6时,填充因子越大,死时间越小,测距性能越...     

自然类动物纪录片的摄影创作手段

自然类动物纪录片在我国的纪录片创作中是一个弱项,但并不意味着我们不能拍摄这一类型的题材。上海电视台纪实频道在"科教兴国"的举国战略指引下,迎难而上,充分利用现有条件,开发功能,改装设备,在资金允许的情况下使用特殊设备,制作《中国珍稀物种》高清系列纪录片,并得到广大同行的认可。