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中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀 总被引:2,自引:2,他引:0
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时,应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺,如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺,存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工,做了大量实验、质谱分析和多项测试研究,成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀,做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。 相似文献
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73.
实施六大工程打造民生水利 总被引:1,自引:1,他引:0
我省针对十年九旱、水资源短缺、生态与环境脆弱的特点,确定了今冬明春农田水利基本建设的目标任务,明确以实施兴水战略为主线,以改善民生为目标,以创新机制为保障,全面掀起冬春农田水利基本建设新高潮。 相似文献
74.
电源对介质阻挡放电(DBD)激发准分子(XeCl*)辐射的影响 总被引:3,自引:2,他引:1
本文对电源参数如电压幅值、频率及正负电压对介质阻挡放电激发准分子XeCl 紫外 (30 8nm)辐射的影响进行了实验研究。结果表明 ,UV辐射随电压幅度的增加而增强 ,但效率下降 ;提高频率 ,增加了放电次数 ,导致UV辐射的增强 ;此外 ,在较高的频率下 ,电压上升沿变陡 ,使得电子获得的能量主要用于原子的激发和电离。正、负电压放电的不对称源于电极结构的不对称而引起的放电过程的差异 ,负电压内电极可向放电管中馈入更多的能量 ;比较发光光谱可判断生成准分子的等离子体化学过程没有明显的差别 相似文献
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76.
基于GPRS的闸门监控系统设计 总被引:3,自引:3,他引:0
利用通用分组无线电业务(GPRS)通信技术、可编程逻辑控制器(PLC)和RS-485总线设计了稳定、经济的分布式闸门监控系统。该系统采用Internet/数字数据网(DDN)和GPRS Modem方式接入无线通信网络,并根据闸门监控系统的运行特点,采用GPRS实时通信与短信服务(SMS)通信相结合的方式,不仅保证了系统通信的稳定性和平衡性,且优化了系统的运行成本。最后,对基于GPRS的闸门监控系统的经济性和适用性进行了讨论。 相似文献
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78.
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通过对启闭机关键部件卷筒的受力分析,研制出一种新的单吊点、双驱动、超大容量、高扬程启闭机.从理论上分析了它的整体工作性能.所依托工程的使用情况表明,该机达到了设计要求. 相似文献
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