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透明导电薄膜的研究现状及应用 总被引:32,自引:0,他引:32
综述了当前透明导电薄膜的最新研究和应用状况,重点讨论了ITO膜的光电性能和当前的研究焦点。指出了目前需要进一步从材料选择、工艺参数制定、多层膜光学设计等方面来提高透明导电膜的综合性能,使其可见光平均透光率达到92%以上,从而满足高尖端技术的需要。 相似文献
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本文研究了热作模具钢4Cr5MoV1Si在热变形过程中碳化物的动态析出行为。TEM分析认为,动态析出的碳化物主要为Mo2C和VC。碳化物的定量分析表明;随着固溶于基体中碳化物形成元素含量的降低,动态析出的碳化物减少。 相似文献
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射频磁控溅射室温下制备ITO薄膜的光学性能研究 总被引:3,自引:0,他引:3
靶材为铟锡氧化物(In2O3:SnO2=1:1),用射频磁控溅射法在低温下制备了光电性能优良的ITO薄膜.质量流量计调节Ar气压强为0.2~3.0Pa,氧流量为0~10sccm,并详细探讨了溅射时氩气压强和氧流量变化对ITO薄膜光学性能的影响.结果表明:溅射Ar气压强为0.8Pa,氧流量为2.4sccm时,薄膜的折射率最低n=1.97,较接近增透膜的光学匹配.薄膜厚度为241.5nm时,薄膜的最大透过率为89.4%(包括玻璃基体),方阻为75.9Ω/□,电导率为8.8×10-4Ω·cm. 相似文献
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