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81.
基于局部基底弯曲法的高灵敏度薄膜应力测试技术 总被引:4,自引:0,他引:4
针对MEMS(micro-electro-mechanical system)和NEMS(nano-electro-mechanical system)对薄膜应力测试的要求,开发了一种新型高灵敏度薄膜应力测试技术,使用自行搭建的准纳米光学干涉测试系统,利用局部基底弯曲来检测薄膜的内应力.该方法不仅保留了传统基底弯曲法的所有优点,而且消除了其系统误差.使用ANSYS对测试结构进行了模拟和优化,对于30nm厚的薄膜,应力检测的分辨率为1.5MPa,优于目前国际上的相关报道.本测试结构使用各向异性腐蚀和DRIE(deep reactive ion etching)完成,加工工艺简单实用.文中使用该测试技术对常用MEMS薄膜的残余应力进行了测量,结果与其他测试方法得到的结果基本一致,测量重复性优于1%.该技术可以用于测试纳米级薄膜及超低应力薄膜的内应力. 相似文献
82.
针对M油田非均质性较强、开发初期已暴露出明显纵向上层间干扰大,非主力层段薄储层产能不能完全释放,油田自然递减加大这一问题,采用油藏数值模拟、油藏工程方法结合矿场试验,对具有薄互层特征的M油田进行层间干扰定量表征,首次提出了多因素层间干扰系数定量表征公式,建立了细分层系技术界限图版。研究结果表明:窄薄油藏M油田渗透率级差达到5时,可以细分层系开发,渗透率级差越大,分层开发效果越好,分采采收率提高幅度为5%~7%。在M油田选取主力区块应用该方法进行调整井部署局部细分层系开发,投产的7口调整井平均产能为80 m~3/d,进一步完善注采井网,取得了较好的调整效果,该方法对相似油田分层开发具有一定的参考价值。 相似文献
83.
通过某迷宫活塞式乙烯压缩机的应用实例,分析了该类压缩机泄漏的原因。填料密封泄漏的乙烯与隔离氮气混合后经油箱呼吸器排出,在室内环境积聚造成严重的安全隐患。文中结合实际操作情况,提出了相应的解决措施,为该类压缩机合理的运行维护提供了参考。 相似文献
84.
本文研究了ATM网络的安全机制。文中首先分析了ATM安全设计应满足的特殊要求,接着讨论了进行安全设计可能采取的两类折衷方案,继而从层平面安全服务的角度出发,分别描述了ATM控制平面和用户平面安全服务原理,并提出了一种安全服务的错误自恢复机制,最后讨论了如何实现连接建立和连接期间的安全信息传输。 相似文献
85.
本文介绍了一种高集成、高性能的多规程通信接口芯片──MC68302,详细说明了其内部硬、软件结构,并据亲身应用所得经验和体会,从多方面介绍利用该芯片设计各种通信电路。 相似文献
86.
87.
苏里格气田是国内致密砂岩气田的典型代表,由于储层物性差,有效砂体规模小、非均质性强,现有的水平井布井方法难以在时间、空间维度上统一多学科多尺度数据,导致设计方案与实际情况差异较大,影响了水平井的开发效果。为此,以气田二叠系下石盒子组8段、山西组1段储层为研究对象,定量分析了辫状河体系带对沉积微相展布和有效砂体分布的控制作用,分辫状河体系叠置带、过渡带形成了水平井地质目标的优选标准,进而提出了以地质模型为基础的差异化部署水平井对策。研究结果表明:(1)该区有效砂体厚度薄、规模小,在空间高度分散,预测难度大;(2)叠置带储层规模大,稳定性和连续性强,应侧重于储层厚度、储量集中程度等整体性评价,整体式部署水平井;(3)过渡带沉积水动力弱,储层连续性相对局限,应在优选富集区的基础上,侧重于隔夹层描述、相邻直井生产动态分析等局部“甜点”评价后再部署水平井;(4)可将该区水平井分为4种类型,其中Ⅰ、Ⅱ类井主要位于叠置带,Ⅲ、Ⅳ类主要位于过渡带,4类井的合理配产分别为大于5×10~4m~3/d、(4~5)×10~4m~3/d、(3~4)×10~4m~3/d、小于3×10~4m~3/d。结论认为:(1... 相似文献
88.
为获得具有良好使用性能的碳化硅基陶瓷复合材料,以亚微米级Si C粉体和分析纯的Al(NO_3)_3与Y(NO_3)_3为主要实验原料、氨水为沉淀剂,用共沉淀包覆方法制备Si C-Al_2O_3-Y_2_O3纳米复合粉体,对复合粉体前驱体的DTA进行分析,并研究其在煅烧过程中的物相变化,以及煅烧温度对复合粉体的分散性和烧结性的影响。结果表明:Al_2O_3和Y_2O_3反应生成新相YAG,当YAG质量分数为10%、煅烧温度为600℃,复合粉体的烧结性能最好。 相似文献
89.
90.
通过分子动力学方法,模拟对二甲苯、邻二甲苯、间二甲苯和乙苯4种分子的混合物在纯硅FAU分子筛(SiFAU)和钡离子交换的X型分子筛(BaX)中的扩散过程;通过密度泛函理论和波函数方法计算和分析C8芳烃分子的电子密度等值面及其确定的分子尺寸,同时考虑了乙苯侧链柔顺性导致的构象多样性。将C8芳烃分子的横截面积、分子筛的孔口尺寸变化与扩散能力进行关联,来探究C8芳烃分子在BaX分子筛孔道内动态扩散的微观机理。结果表明:相比SiFAU分子筛,BaX分子筛中阳离子的引入减小了孔口尺寸,4种C8芳烃分子在BaX分子筛中的扩散能力由大到小的顺序为对二甲苯、乙苯、邻二甲苯、间二甲苯,这与其最小横截面积大小(乙苯平面构象)的顺序相一致。 相似文献