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电容式微机械静电伺服加速度计模型建立 总被引:1,自引:0,他引:1
阐述了电容式微机械静电伺服加速度计系统的基本结构和工作原理,详细分折并建立了在空间任一给定加速度α下加速度计的静态、动态和电模拟模型,指出敏感质量块各方向上的运动仅决定于该方向的加速度,由此建立各方向上的运动方程,并给出各参数的计算公式,为加速度计的设计和仿真奠定扎实基础。 相似文献
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