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化学机械平坦化(CMP)是铜互连制备过程中唯一的全局平坦化技术。但是由于互连线铜与扩散阻挡层物理及化学性质上的差异,在阻挡层的化学机械平坦化过程中将加剧导致碟形坑的产生。目前,国际上抛光液以酸性为主,但是其存在固有的问题,如酸性气体挥发,腐蚀严重等。本论文研发出一种新型碱性阻挡层抛光液,与商用的阻挡层抛光液做对比,评估了其抛光性能。实验结果表明,新型碱性阻挡层抛光液抛光后表面状态好,粗糙度较低。另外,碟形坑及电阻测试结果表明,新型碱性阻挡层抛光后铜布线的表面形貌好,碟形坑小,能够应用于铜布线阻挡层的CMP中。 相似文献
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PFC控制器在功率因数校正电路中起着重要作用,随着集成电路产业的发展,越来越多的PFC控制器芯片投入到市场中。PFC尺寸和性能都得到了提升,控制器芯片内部集成了数字补偿器。介绍并比较了UC3854和ICE3PCS03G两种CCM PFC控制器,分析PFC原理以及两个PFC控制器芯片的工作原理和基本功能;基于ICE3PCS03G控制器设计了一个PFC电路,对控制器的外围电路参数设计进行了分析。利用该芯片进行实验验证,保证了PFC功能和各次谐波分量,而且使用这个控制器大大降低了PFC变换器的设计成本。 相似文献
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高层建筑地基、基础及上部结构基于动力共同工作机理的BEM/FEM组合时程分析法 总被引:1,自引:0,他引:1
本文提出了一种基于地基、基础及上部结构动力共同工作机理的高层建筑结构计算方法。该方法将边界元及有限元方法加以组合,用逐步积分的方法计算整个振动时程内结构的内力和变形。 相似文献
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煤炭是我国的主体能源,在我国经济社会发展中具有重要的战略地位。最近发布的《国务院关于促进煤炭工业健康发展的若干意见》,提出了构建适应社会主义市场经济的新型煤炭工业体系,推动煤炭工业逐步走资源利用率高、安全有保障、经济效益好、环境污染少和可持续的发展道路。以国务院名义颁布全面促进煤炭工业发展的文件,这在新中国煤炭工业史上还是第一次,具有划时代的意义,体现了党中央、国务院对煤炭工业的高度重视和对煤矿职工的深切关怀,预示着煤炭工业辉煌的前景和美好的未来。 相似文献
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本文叙述了WS-1型微机数瓶器的原理和结构,它采用80C31单片机构成了一种检测和工业控制仪器。它主要应用于生产流水线中,对产品的数量进行自动计数,显示和保存。 相似文献
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航天技术和产业是知识高度密集与综合、关系国家安全、对经济发展和社会进步具有广泛带动作用的战略高技术产业。积极促进航天产业发展,是建设创新国家、实现全面建设小康社会战略目标的客观要求。我国航天产业5O年发展取得了一系列重大成绩。在新的历史发展时期,我国航天产业发展,要按照《国民经济和社会发展第十一个五年规划纲要》、《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006-2020年)》的要求,紧紧围绕更好地为国民经济和社会发展服务这一主线,坚持“以应用为主导,以创新为动力,天地统筹规划,基础设施和数据资源共享,军民协调开放式发展”的原则,通过政府牵引与市场导向相结合的方式,优先实施载人航天工程、探月工程、北斗导航工程和高分辨率对地观测系统等四大工程项目,重点发展卫星通信、卫星直播电视、卫星导航定位、卫星遥感等应用业务,加强体制、机制创新,从整体上要初步实现由试验应用型向业务服务型的转变,创新能力得到明显加强,努力形成具有一定经济规模、产业链完整、与相关行业融合发展的航天产业体系。[编者按] 相似文献
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建立了36%咪鲜·丙环唑悬浮剂中有效成分咪鲜胺、丙环唑以及相关杂质2,4,6-三氯苯酚的高效液相色谱定量分析方法,采用甲醇–乙腈–水(pH=3,磷酸调节)体系为流动相,150mm×4.6 mm Kromasil C18(5 m)不锈钢柱,紫外检测器(225 nm)。结果表明,本方法线性相关系数为0.999 9(有效成分)、0.998 7(杂质),标准偏差均小于0.10,变异系数均小于3.8%,平均回收率在99.8%~102.4%之间。 相似文献